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上海洛豐精密檢測(cè)儀器有限公司

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白光干涉儀ZeGageplus 光學(xué)輪廓儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ZeGage Plus系列的3D光學(xué)表面輪廓儀可以提供*的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌測(cè)量分析。所有的測(cè)量都無損、快速，并且不需要樣品制備。*的分析軟件可以極其精準(zhǔn)的描繪和定量分析表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。

詳細(xì)介紹

系統(tǒng)參數(shù)：

◆原理非接觸、三維白光掃描干涉儀

◆掃描裝置: 長(zhǎng)范圍 Z 軸調(diào)節(jié)

◆物鏡: 1X - 50X 放大：標(biāo)準(zhǔn)工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x；長(zhǎng)工作距離：1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數(shù)表

◆視場(chǎng): 跟所選物鏡有關(guān)

◆光源: 長(zhǎng)壽命白光 LED，計(jì)算機(jī)控制光強(qiáng)

◆物鏡安裝：直接螺紋安裝（標(biāo)配）；單物鏡楔形座安裝（選配）；手動(dòng)或電控 4 位物鏡塔臺(tái)（選配）

◆輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦

◆測(cè)量陣列: 1024×1024，512×512,256×256,1024×160

◆樣件觀察: Mx 軟件集成實(shí)時(shí)觀察

◆Z 軸: 100mm 行程，主機(jī)頭具有兩種可選安裝高度，以優(yōu)化工作距離

◆樣品臺(tái)控制: USB 控制器

◆安全性: 系統(tǒng)集成緊急制動(dòng)功能

◆樣品臺(tái): 手動(dòng),俯仰傾斜±4°，集成 T 型槽板利于固定附件（標(biāo)配）手動(dòng)型：XY 平移 50 x 100 mm（-01，-11）；電動(dòng)型：

XY 平移 100 x 100 mm（-02，-12）

◆計(jì)算機(jī): i5 級(jí)別 PC，23 寸顯示器 1080p

◆軟件: ZYGO Mx 軟件，Windows7（64 位）

◆尺寸（HWD）: 系統(tǒng)：156×127×76cm; 工作桌：74x127x76cm; ZeGage 主機(jī)：82x53x53cm

◆重量: ZeGage Plus主機(jī)：54Kg; 工作臺(tái)：37Kg

性能：

◆縱向掃描范圍：≤ 20 mm，(受限于物鏡工作距離)

◆表面形貌重復(fù)性：＜0.15nm

◆光學(xué)分辨率（橫向）：0.52um （50x 物鏡）

◆空間采樣： 0.17um（50x 物鏡）

◆掃描速度： ≤ 73 um/秒

◆臺(tái)階高度重復(fù)性：≤0.3%@1σ

◆臺(tái)階精度： ≤ 3%

被測(cè)樣品特性：

◆材料：各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜，非鍍膜，反射，弱反射

◆尺寸（HWD）：87 x 100 x 100mm 標(biāo)準(zhǔn)主機(jī)頭位置；147 x 100 x 100mm 主機(jī)頭加高采用局部覆蓋放置可以測(cè)試更大的樣品

◆反射率：0.05%-99%

環(huán)境要求：

◆溫度： 15-30℃ ＜1.0°C/15 分鐘

◆濕度：相對(duì)濕度 5%-95%，無凝結(jié)

◆隔振：包含隔振，要求隔離 1-120Hz 振動(dòng)

◆振動(dòng)準(zhǔn)則： VC-C 或有更好的推薦

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