概述
使用嶄新的技術(shù),提供高速度與精確度,建立出可靠以及可信賴的測(cè)量系統(tǒng)。

該系統(tǒng)包括InSpec測(cè)量軟件,可程式化的光學(xué)變焦,3X的數(shù)碼變焦,非線性平臺(tái)補(bǔ)償,非線性光學(xué)補(bǔ)償,的LED光源系統(tǒng)以及溫度檢測(cè)儀。
InSpec測(cè)量軟件功能:使用鼠標(biāo)就能輕松編寫程序,專有的系統(tǒng)尋邊功能,的光源控制及校正功能,與復(fù)合傳感器結(jié)合,自動(dòng)校正,可清晰顯示測(cè)量資料及公差。
規(guī)格表
| 型號(hào) | 測(cè)量行程(mm) | 機(jī)臺(tái)重量(kg) | XY軸速度(mm/s) | Z軸速度(mm/s) | 分辨率 | 承載重量 | 外觀尺寸(mm) |
| Vertex 261 | 250x160x160 | 100 | 250 | 100 | 0.1 μm | 10 kg | 755x1130x1075 |
| Vertex 341 | 315x315x160 | 150 | 250 | 100 | 0.1 μm | 20 kg | 900x1410x1065 |
| Vertex 342 | 315x315x250 | 160 | 250 | 100 | 0.1 μm | 20 kg | 900x1410x1245 |
可選配件

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