在AI引發(fā)的結(jié)構(gòu)性失衡，芯片需求激增的當(dāng)下，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正加速邁向微型化與集成化，制造工藝對精度的要求也達(dá)到了之前沒有的高度。微米級的偏差，便可能影響一顆芯片的最終性能與良率。
面對日趨復(fù)雜精密的生產(chǎn)需求，測量環(huán)節(jié)如何實(shí)現(xiàn)“快、準(zhǔn)、穩(wěn)”？巴斯德儀器作為日本三豐量具量儀特約一級代理商，為您帶來高效的非接觸測量方案，助力提升效率、保障品質(zhì)。
當(dāng)凸點(diǎn)以“微米”計(jì)，測量如何快準(zhǔn)穩(wěn)？
在對倒裝芯片的品質(zhì)進(jìn)行評價(jià)時(shí)，多以測量各點(diǎn)位相較于以主板中心為原點(diǎn)的X、Y方向偏差(即坐標(biāo)差)為主。
主要課題：
① 測點(diǎn)密集，芯片表面凸點(diǎn)繁多，難以適應(yīng)規(guī)?；a(chǎn)
② 表面不平，頻繁聚焦拖慢測量節(jié)奏，測量效率低下
③ 工件易變形，芯片薄且軟，接觸測量易導(dǎo)致數(shù)據(jù)失真
通過使用三豐影像測量儀QV HYPER系列，我們可以有效解決上述難題。
QV HYPER 系列
作為一款配備高分辨力、高精度標(biāo)尺的影像測量儀，QV HYPER系列精度可達(dá)E UX/E UY,MPE=（0.8+2L/1000）μm，在不破壞工件表面的情況下實(shí)現(xiàn)高精度非接觸式測量。
TAF功能：讓對焦不再費(fèi)時(shí)費(fèi)力
TAF激光自動追蹤功能，可實(shí)現(xiàn)通過物鏡的激光照射自動對焦。根據(jù)工件形狀自動追蹤焦點(diǎn)，可節(jié)省對焦作業(yè)，對于芯片這類非平整表面（且高度差變化不大）進(jìn)行掃描時(shí)，無需停頓式對焦，從而大大提高了測量效率。
通過XY本體驅(qū)動與頻閃照明同步，在不關(guān)停工作臺的狀態(tài)下進(jìn)行無停頓影像測量，大大縮短測量時(shí)間，提升測量效率，讓批量測量成為可能。
與此同時(shí)，不僅是晶圓、PCB板等半導(dǎo)體部件的產(chǎn)能在擴(kuò)張，以蝕刻為代表的半導(dǎo)體制造設(shè)備和裝置的需求也在進(jìn)一步增加。作為具有代表性的半導(dǎo)體制蝕刻裝置部件，噴淋頭的測量需求也受到了業(yè)界的高度關(guān)注。
02
噴淋頭表面分布著密集的氣體供給孔。每個(gè)孔的尺寸會直接影響到刻蝕機(jī)上所產(chǎn)生的等離子體均勻性。其主要測量項(xiàng)目是表面密集分布的孔的直徑、基于基準(zhǔn)的坐標(biāo)位置及平面度等。
主要課題：
① 孔數(shù)繁多，且偶爾存在分布不規(guī)則的情況
② 測量速度慢，效率低下，難以適應(yīng)批量測量需求
使用三豐影像測量儀QV Pro系列，搭載STERAM功能，我們同樣能夠輕松解決此類測量難題，以匹配您的批量測量需求。作為三豐特約一級總代理，巴斯德儀器（蘇州）有限公司提供三豐影像測量儀的銷售、選型指導(dǎo)、安裝調(diào)試、售后校準(zhǔn)一站式服務(wù)，結(jié)合 10 余年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，為企業(yè)匹配適配的機(jī)型，讓影像測量儀的高精度價(jià)值充分落地，賦能精密制造高質(zhì)量發(fā)展。
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