產(chǎn)品特點(diǎn)
用于成膜后的退火結(jié)晶工藝,設(shè)備由進(jìn)出料傳送段、機(jī)械手取放料裝置、爐體、預(yù)熱區(qū)、高溫區(qū)、冷卻區(qū)、取放片裝置、進(jìn)排氣裝置、傳動(dòng)組件、電控系統(tǒng)等組成。每層加熱、冷卻時(shí)間獨(dú)立可調(diào);
爐體內(nèi)部的潔凈度可達(dá)百級,爐內(nèi)采用模組機(jī)械手X、Y、Z搬送,傳送滾輪采用UPE防靜電材料制作,不刮傷產(chǎn)品底面;
搭載智能控制軟件系統(tǒng),溫控精度高,動(dòng)作快速精準(zhǔn)、升溫速率可控、基板表面溫度均勻、溶劑揮發(fā)充分。
產(chǎn)品詳情
| 系列 | 處理產(chǎn)品規(guī)格 | 進(jìn)料方向 | 溫度 | 退火生產(chǎn)節(jié)拍 | 控制區(qū)域 | 氣氛 |
| HXL | 300×300mm-2400×1600mm | 長邊進(jìn)料 | 200℃ | ≥30秒/PCS | 預(yù)熱區(qū)、高溫區(qū)、冷卻區(qū) | Air/真空 |




南昌县|
泰州市|
崇信县|
名山县|
云南省|
湖州市|
朝阳县|
嘉黎县|
武山县|
富裕县|
仙游县|
四会市|
三台县|
宁远县|
亳州市|
许昌市|
运城市|
建水县|
怀远县|
凤山市|
密山市|
青川县|
芦山县|
海口市|
开原市|
屯昌县|
永顺县|
阿合奇县|
大宁县|
城步|
繁昌县|
宣武区|
永丰县|
嘉祥县|
阳朔县|
雷州市|
温泉县|
盐池县|
重庆市|
滕州市|
乡宁县|