INFICON PBR 260是一種組合式真空計(jì)，在一個(gè)緊湊單元中可作為的兩種真空計(jì)用。其主要測(cè)量原理是根據(jù)Bayard-Alpert熱陰極規(guī)的測(cè)量原理，同時(shí)也被皮拉尼熱導(dǎo)測(cè)量原理支持。PBR 260 皮拉尼/貝阿德-阿爾珀特?zé)彡帢O組合真空計(jì)的測(cè)量范圍從UHV范圍（5×10-10）mbar到大氣范圍（1000mbar）。
PBR 260的主要優(yōu)點(diǎn)之一是與其他制造商的PBR 260真空計(jì)的兼容性非常強(qiáng)，這要?dú)w功于結(jié)合技術(shù)，使用相同的模擬輸出信號(hào)和電氣接口。這導(dǎo)致了更簡(jiǎn)單的安裝、設(shè)置和過程整合。
PBR 260 皮拉尼/貝阿德-阿爾珀特?zé)彡帢O組合真空計(jì)為市場(chǎng)上實(shí)惠和可靠的基礎(chǔ)壓力的測(cè)量提供的解決方案。
優(yōu)勢(shì)
PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert熱陰極組合真空計(jì)僅用一個(gè)緊湊的測(cè)量設(shè)備就能提供低真空到超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制。
法蘭盤尺寸： DN 25 iso-KF, DN 40 cf-r, DN 40 iso-KF
壓力適用于惰性氣體和低于55℃的溫度
高度準(zhǔn)確，在10-8 ... 10-2 mbar的過程范圍內(nèi)具有良好的重復(fù)性
Bayard-Alpert傳感器的開/關(guān)由Pirani傳感器自動(dòng)控制
長(zhǎng)壽命的氧化釔涂層銥燈絲
符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)
PBR 260 與其他制造商的Pirani/Bayard-Alpert熱陰極測(cè)量?jī)x兼容。
產(chǎn)品編號(hào)IGG27000與PT R27 000相匹配
編號(hào)IGG27001與PT R27 001匹配
編號(hào)IGG27002與PT R27 002匹配
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體和分析工藝環(huán)境中的一般壓力測(cè)量
光學(xué)和其他工業(yè)鍍膜工藝
規(guī)格
| 測(cè)量范圍。 最小測(cè)量范圍 | mbar mbar | 1000 5·10-10 |
| 烘烤溫度 | °C | 150 (已移除電子單元部分) |
| 準(zhǔn)確度：10-8至10-2毫巴 | %讀數(shù) | 15 |
| 重復(fù)性：10-8至10-2毫巴 | %讀數(shù) | 5 |
| 纖絲 (陰極) | 氧化釔涂層的銥合金 | |
| 暴露在真空中的材料 | Cu,W, Glass, NiFe, Mo, St.鋼, NiCr | |
| 壓力。 | bar | 2 |
注：
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