INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補(bǔ)償型壓力計,可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。高級數(shù)字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設(shè)定點調(diào)整。防腐蝕陶瓷傳感器具的零點穩(wěn)定性出色,預(yù)計壽命可達(dá)到數(shù)百萬個加壓循環(huán),包括突發(fā)大氣壓。的傳感器屏蔽(申請中)可防止儀表被過程污染。堅固的機(jī)械設(shè)計和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。CDG025D 為開機(jī)后快速穩(wěn)定以及從氣壓中快速恢復(fù)的功能樹立了新的標(biāo)準(zhǔn)。
好處
●從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程
●電源接通后快速穩(wěn)定
●暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
●防腐蝕陶瓷傳感器
●的長期信號穩(wěn)定性
●溫度補(bǔ)償
●傳感器受防污染保護(hù)
●一鍵調(diào)零功能
●寬范圍電源
典型應(yīng)用
●用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備
●數(shù)據(jù)存儲和顯示器制造設(shè)備
●工業(yè)真空設(shè)備
●經(jīng)濟(jì)、高度精確的壓力測量







