常用真空泵技術(shù)

蒸汽噴射泵濕式泵（液環(huán)真空泵、旋轉(zhuǎn)葉片泵）干式泵（羅茨泵、螺桿泵、爪式泵）

1、蒸汽噴射泵噴射真空泵工作原理：蒸汽噴射真空泵有一定壓強的工作的真空泵設(shè)備，蒸汽通過拉瓦爾噴咀，減壓增速，蒸汽的勢能轉(zhuǎn)變?yōu)閯幽懿⒁猿羲賴娙牖旌鲜?，與被抽介質(zhì)混合，進(jìn)行能量交換，混合后的氣體進(jìn)入擴壓器，減速增壓，動能轉(zhuǎn)化為壓強能，為了減少后級泵的抽氣負(fù)荷，配置冷凝器，通過有一定溫差的兩種介質(zhì)對流，進(jìn)行熱交換，達(dá)到冷凝高溫介質(zhì)目的，排到大氣壓。工作原理如下圖所示：

常用真空泵技術(shù)優(yōu)點： 缺點： 

無機械運動部件 運動流體供應(yīng) 

可靠耐用 廢水處理 

快速的抽真空 工藝過程污染 

緊湊、占地面積小 故障探尋困難 

工作安全 級間冷卻 

低的投資成本 常為多級 

適應(yīng)性強 在 400PaA以下結(jié)冰 

結(jié)構(gòu)簡單、重量輕 

2、濕式泵：液環(huán)真空泵

在圓形泵體內(nèi)，在相對于泵體中心線為偏心的軸上裝有一個葉輪。轉(zhuǎn)動的葉輪的離心作用迫使工作液通過通道流向腔體周邊形成環(huán)流。

泵起作用時，被輸送的氣體混合物經(jīng)過中間板上的吸入口進(jìn)入葉輪，在泵入口處形成真空。氣體混合物充入位于液環(huán)內(nèi)徑和葉輪葉片根部之間的葉輪腔內(nèi)。當(dāng)葉輪轉(zhuǎn)動時，葉輪葉片浸沒在液環(huán)中的程度增加，而使液環(huán)和葉輪葉片根部之間的容積減少。結(jié)果是氣體混合物受到壓縮，直至到達(dá)中間板中的排放口。氣體混合物通過排放口排出。

在壓縮循環(huán)過程中，熱傳遞到液環(huán)。為了使溫度保持在工作液的蒸發(fā)點以下，必須進(jìn)行冷卻。通過連續(xù)不斷地向液環(huán)添加冷的工作液來達(dá)到冷卻的目的。添加的工作液量與經(jīng)過排放口與壓縮氣體混合物一起排放的工作液排放量相等。氣體混合物和工作液最終經(jīng)過泵出口進(jìn)行分離。

液環(huán)泵按不同結(jié)構(gòu)可分成如下幾種類型：

(1) 單級單作用液環(huán)泵單級是指只有一個葉輪，單作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行一次。這種泵的極限真空較高，但抽速和效率較低。 

(2) 單級雙作用液環(huán)泵單級是指只有一個葉輪，雙作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行二次。在相同的抽速條件下，雙作用液環(huán)泵比單作用液環(huán)泵大大減少尺寸和重量。由于工作腔對稱分布于泵輪轂兩側(cè)，改善了作用在轉(zhuǎn)子上的載荷。此種泵的抽速較大，效率也較高。

(3)雙級液環(huán)泵大多是單作用泵串聯(lián)而成。實質(zhì)上是兩個單級單作用的液環(huán)泵的葉輪共用一根心軸聯(lián)接而成。它的主要特點是在較高真空度下，仍然具有較大的抽速，而且工作狀況穩(wěn)定。

(4)大氣液環(huán)泵實際是大氣噴射器串聯(lián)液環(huán)泵的機組。液環(huán)泵前面串聯(lián)大氣泵是為了提高極限真空，擴大泵的使用范圍。

優(yōu)點 缺點 

結(jié)構(gòu)簡單，制造精度要求不高，容易加工。結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動機直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對泵內(nèi)進(jìn)行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，維修方便。 效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%。真空度低，這不僅是因為受到結(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液，可達(dá)130Pa。封液循環(huán)、污染。 

濕式泵：旋轉(zhuǎn)葉片泵

轉(zhuǎn)子在有柱狀膛孔的定子內(nèi) 。轉(zhuǎn)子有兩個葉片在槽中反向滑動 。當(dāng)轉(zhuǎn)子運轉(zhuǎn)時，葉片端與油潤滑定子壁接觸。每轉(zhuǎn)一次為兩個泵吸循環(huán) —比較小的不平衡力。

優(yōu) 點 缺 點 

極限壓力好噪聲小應(yīng)用范圍廣 油封液污染對腐蝕很敏感維修費用高抽速范圍受到限制不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對泵密封油起化學(xué)作用、及含有顆?；覊m的氣體。 

濕式泵的主要問題：密封液體供應(yīng)，污染，廢水處理，腐蝕，蒸汽壓力限制（特別是液環(huán)泵），可靠性，運行成本。

3、干式泵

干式抽真空：沒有工業(yè)生產(chǎn)液流的污染；深度真空，運轉(zhuǎn)更靈活；無廢水，無污染，（較少或）無廢棄物處理費用；維修成本較低；在泵排放口立即回收溶劑；消耗水、電、氣等費用較低→運行成本較低。

技術(shù)對比：

干式泵的成本投資成本較高，但較低的運行成本。延長維修服務(wù)間隔時間和軸承壽命。在運轉(zhuǎn)范圍內(nèi)，電力消耗較低。因此，在容能比（M3/hr/kW）方面節(jié)能效果更好。無受污染的油要進(jìn)行處理（除了齒輪箱以外）。干式泵技術(shù)：泵的類型：羅茨泵、螺桿泵、爪式泵；

羅茨泵：

螺桿泵：

螺桿泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內(nèi)（柱形等螺距）進(jìn)行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對泵的性能有很大影響。在設(shè)計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境（如抽除含粉塵氣體等）等。