常用真空泵技術(shù)

蒸汽噴射泵濕式泵（液環(huán)真空泵、旋轉(zhuǎn)葉片泵）干式泵（羅茨泵、螺桿泵、爪式泵）

1、蒸汽噴射泵噴射真空泵工作原理：蒸汽噴射真空泵有一定壓強(qiáng)的工作的真空泵設(shè)備，蒸汽通過拉瓦爾噴咀，減壓增速，蒸汽的勢(shì)能轉(zhuǎn)變?yōu)閯?dòng)能并以超音速噴入混合室，與被抽介質(zhì)混合，進(jìn)行能量交換，混合后的氣體進(jìn)入擴(kuò)壓器，減速增壓，動(dòng)能轉(zhuǎn)化為壓強(qiáng)能，為了減少后級(jí)泵的抽氣負(fù)荷，配置冷凝器，通過有一定溫差的兩種介質(zhì)對(duì)流，進(jìn)行熱交換，達(dá)到冷凝高溫介質(zhì)目的，排到大氣壓。工作原理如下圖所示：

常用真空泵技術(shù)優(yōu)點(diǎn)： 缺點(diǎn)： 

無(wú)機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件 運(yùn)動(dòng)流體供應(yīng) 

可靠耐用 廢水處理 

快速的抽真空 工藝過程污染 

緊湊、占地面積小 故障探尋困難 

工作安全 級(jí)間冷卻 

低的投資成本 常為多級(jí) 

適應(yīng)性強(qiáng) 在 400PaA以下結(jié)冰 

結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、重量輕 

2、濕式泵：液環(huán)真空泵

在圓形泵體內(nèi)，在相對(duì)于泵體中心線為偏心的軸上裝有一個(gè)葉輪。轉(zhuǎn)動(dòng)的葉輪的離心作用迫使工作液通過通道流向腔體周邊形成環(huán)流。

泵起作用時(shí)，被輸送的氣體混合物經(jīng)過中間板上的吸入口進(jìn)入葉輪，在泵入口處形成真空。氣體混合物充入位于液環(huán)內(nèi)徑和葉輪葉片根部之間的葉輪腔內(nèi)。當(dāng)葉輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，葉輪葉片浸沒在液環(huán)中的程度增加，而使液環(huán)和葉輪葉片根部之間的容積減少。結(jié)果是氣體混合物受到壓縮，直至到達(dá)中間板中的排放口。氣體混合物通過排放口排出。

在壓縮循環(huán)過程中，熱傳遞到液環(huán)。為了使溫度保持在工作液的蒸發(fā)點(diǎn)以下，必須進(jìn)行冷卻。通過連續(xù)不斷地向液環(huán)添加冷的工作液來(lái)達(dá)到冷卻的目的。添加的工作液量與經(jīng)過排放口與壓縮氣體混合物一起排放的工作液排放量相等。氣體混合物和工作液最終經(jīng)過泵出口進(jìn)行分離。

液環(huán)泵按不同結(jié)構(gòu)可分成如下幾種類型：

(1) 單級(jí)單作用液環(huán)泵單級(jí)是指只有一個(gè)葉輪，單作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行一次。這種泵的極限真空較高，但抽速和效率較低。 

(2) 單級(jí)雙作用液環(huán)泵單級(jí)是指只有一個(gè)葉輪，雙作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行二次。在相同的抽速條件下，雙作用液環(huán)泵比單作用液環(huán)泵大大減少尺寸和重量。由于工作腔對(duì)稱分布于泵輪轂兩側(cè)，改善了作用在轉(zhuǎn)子上的載荷。此種泵的抽速較大，效率也較高。

(3)雙級(jí)液環(huán)泵大多是單作用泵串聯(lián)而成。實(shí)質(zhì)上是兩個(gè)單級(jí)單作用的液環(huán)泵的葉輪共用一根心軸聯(lián)接而成。它的主要特點(diǎn)是在較高真空度下，仍然具有較大的抽速，而且工作狀況穩(wěn)定。

(4)大氣液環(huán)泵實(shí)際是大氣噴射器串聯(lián)液環(huán)泵的機(jī)組。液環(huán)泵前面串聯(lián)大氣泵是為了提高極限真空，擴(kuò)大泵的使用范圍。

優(yōu)點(diǎn) 缺點(diǎn) 

結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造精度要求不高，容易加工。結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，無(wú)須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無(wú)須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤(rùn)滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來(lái)完成。吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，維修方便。 效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%。真空度低，這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強(qiáng)只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液，可達(dá)130Pa。封液循環(huán)、污染。 

濕式泵：旋轉(zhuǎn)葉片泵

轉(zhuǎn)子在有柱狀膛孔的定子內(nèi) 。轉(zhuǎn)子有兩個(gè)葉片在槽中反向滑動(dòng) 。當(dāng)轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，葉片端與油潤(rùn)滑定子壁接觸。每轉(zhuǎn)一次為兩個(gè)泵吸循環(huán) —比較小的不平衡力。

優(yōu) 點(diǎn) 缺 點(diǎn) 

極限壓力好噪聲小應(yīng)用范圍廣 油封液污染對(duì)腐蝕很敏感維修費(fèi)用高抽速范圍受到限制不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對(duì)泵密封油起化學(xué)作用、及含有顆?；覊m的氣體。 

濕式泵的主要問題：密封液體供應(yīng)，污染，廢水處理，腐蝕，蒸汽壓力限制（特別是液環(huán)泵），可靠性，運(yùn)行成本。

3、干式泵

干式抽真空：沒有工業(yè)生產(chǎn)液流的污染；深度真空，運(yùn)轉(zhuǎn)更靈活；無(wú)廢水，無(wú)污染，（較少或）無(wú)廢棄物處理費(fèi)用；維修成本較低；在泵排放口立即回收溶劑；消耗水、電、氣等費(fèi)用較低→運(yùn)行成本較低。

技術(shù)對(duì)比：

干式泵的成本投資成本較高，但較低的運(yùn)行成本。延長(zhǎng)維修服務(wù)間隔時(shí)間和軸承壽命。在運(yùn)轉(zhuǎn)范圍內(nèi)，電力消耗較低。因此，在容能比（M3/hr/kW）方面節(jié)能效果更好。無(wú)受污染的油要進(jìn)行處理（除了齒輪箱以外）。干式泵技術(shù)：泵的類型：羅茨泵、螺桿泵、爪式泵；

羅茨泵：

螺桿泵：

螺桿泵是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)（柱形等螺距）進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，但無(wú)壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對(duì)氣體有壓縮作用。螺桿的各級(jí)間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對(duì)泵的性能有很大影響。在設(shè)計(jì)螺桿各部的間隙時(shí)，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境（如抽除含粉塵氣體等）等。