模擬壓力傳感器具有體積小、重量輕、全不銹鋼密封結(jié)構(gòu),可在腐蝕性環(huán)境中工作。該產(chǎn)品安裝方便簡潔,具有非常好的抗振和抗沖擊性能。壓力敏感核心采用了高性能的硅壓阻式壓力充油芯體,內(nèi)部的專用集成電路將傳感器毫伏信號轉(zhuǎn)換成標準電壓、電流或頻率信號,可以直接與計算機接口卡、控制儀表、智能儀表或PLC等方相連。遠距離傳輸可以采用電流輸出方式。廣泛應(yīng)用于過程控制、航空、航天、汽車、醫(yī)療設(shè)備、HVAC等行業(yè)的液體、氣體的測量與控制。
模擬壓力傳感器未經(jīng)標定的初始誤差由以下幾個部分組成:
偏移量誤差。由于在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
線性誤差。這是一個對初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線。
靈敏度誤差,產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過程的變化。
滯后誤差:在大多數(shù)情形中,滯后誤差*可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
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