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3D表面輪廓儀/白光干涉儀

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更新時間：2026-03-27 08:13:31瀏覽次數(shù)：17次

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蘇州拜特微光電科技有限公司

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商鋪產(chǎn)品：48條

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聯(lián)系人：孫工

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產(chǎn)品簡介

光學3D表面輪廓儀，又稱白光干涉儀，它是以白光干涉掃描技術為基礎研制而成的用于樣品表面微觀形貌檢測的儀器。光學3D表面輪廓儀是以非接觸的掃描方式，實現(xiàn)針對樣品表面的重復精度的3D測量，獲取表征樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)。光學3D表面輪廓儀可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。光學3D表面輪廓儀可廣泛應用于對器件表面質(zhì)量要求高的半導體、3C電子屏幕等器件、太陽能印刷薄膜、光學加工、納米材料等工業(yè)企業(yè)領域，以及高校、所、科研院所等計量、研究性質(zhì)單位

詳細介紹

技術規(guī)格 Technical specifications

型號		W1		W2
光源		白光LED		白光LED
標配影像系統(tǒng)		1024×1024（2048×2048可選）		1024×1024（2048×2048可選）
標配干涉物鏡		10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）		10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
標配光學ZOOM		1×，（0.5×、0.75×可選）		1×，（0.5×、0.75×可選）
標配視場		0.49*0.49mm		0.49*0.49mm
******視場		6*6mm		6*6mm
物鏡塔臺		3孔手動		3孔手動
XY位移平臺	尺寸	320×200mm		320×320mm
	移動范圍	140×110mm		200×200mm
	負載	10kg		10kg
	控制方式	電動		電動
水平調(diào)整		±4°手動		±電°手動
Z軸聚焦	行程	100mm		100mm
	控制方式	電動		電動
Z向掃描范圍		10 mm		10 mm
Z向分辨率		0.1nm		0.1nm
可測樣品反射率		0.5%~99%		0.5%~99%
粗糙度RMS重復性		0.005nm		0.005nm
臺階測量		準確度	重復性	準確度	重復性
		0.75% 1σ	0.1% 1σ	0.75% 1σ	0.1% 1σ