探礦設備 井下采掘 地面采掘 運輸機械 選礦設備 采礦輔助設備 石油開采設備 挖沙機械 其它礦業(yè)設備 其它開采設備
鄭州科探儀器設備有限公司
鄭州科探儀器設備有限公司
暫無信息 |
閱讀：57發(fā)布時間：2026-5-13
問：在使用中為什么有些金屬鍍不上？
答：直流磁控濺射儀器針對不同金屬需要調整不同的參數(shù)，靶材厚度、本底真空度、氬氣環(huán)境、電流大小、磁場強弱都對鍍膜起著決定性的作用。比較容易鍍的金屬銅、銀、金等，日常鍍膜不容易鍍的金屬鉻、鎳、鋁、鈦等
問：為什么剛開始使用時可以鍍上，用過一段時間就不太好鍍了？
答：可能存在磁場減弱，導致磁場無法穿透有些靶材。形成原因可能是在鍍膜時候忘記打開水冷機，高溫導致靶頭字長減弱，磁場很難穿透厚的樣品，難以起輝。建議在選擇靶材的時候可以選擇薄一些的靶材，且在設備使用時候先打開水冷機，避免操作失誤導致磁場減弱。
問：真空度在越來越難以抽下去怎么辦？
答：1、鍍膜越久，腔體內部積累的膜層越厚，此時各種縫隙很容易藏空氣，導致真空度難以抽下去，建議在使用一段時間后，草酸清洗內部涂層。若涂層難以去除，可用砂紙或者鋼絲球打磨，注意不要破壞玻璃罩上下邊緣。
2、玻璃罩在使用過程中會不小心磕碰到邊緣，會出現(xiàn)細小的裂紋及豁口，導致真空度下不去，如果是這種情況建議及時更換。3、在操作過程中，玻璃罩需要經常取下，導致玻璃罩上下密封圈污染，密封不嚴?？梢悦看卧跍y試之前用棉簽擦拭密封圈及玻璃罩上下邊緣。
問：在濺射時電壓上升至1000V，或者低于300V導致不起輝或者起輝不正常？
答：上升至1000V是設備短路，將靶材罩擰開一些，距離靶材壓環(huán)大概3mm左右。電壓低于300V是靶材接觸不良，將靶材取下，用細砂紙打磨靶材和底座，使其接觸良好，若靶材太薄，可用銅靶材當作背板。
問：使用時候設備打火是什么情況？
答：靶頭底部有個peek絕緣板，長時間邊緣會鍍上金屬，這樣在鍍膜時導致短路打火燒壞。如果已經出現(xiàn)燒壞的現(xiàn)象需要把絕緣板卸下來用砂紙打磨下再裝回去或者直接更換新的。建議使用一段時間后打磨絕緣板，避免金屬涂層積累。
設備維護：
1、每次做完實驗后，如果長時間不用，可以運行真空泵，保持腔體內密封，避免內部污染。
2、腔體內部涂層積累及時清理，確保本底真空度，使鍍膜時達到一個更好的狀態(tài)。
3、設備運行時先打開水冷機，避免因高溫消磁靶座。
4、及時打磨PEEK絕緣板，避免沉積過多金屬層導致短路。
5、應避免電源工作在周圍有揮發(fā)性可燃液體、腐蝕性液體、導電纖維粉塵較多的場所。
6、請勿在設備上面放置較重的雜物和盛有液體的容器，應避免電源遭受雨水浸淋和日光直接照射。
重工機械網 設計制作，未經允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼