直流磁控濺射儀濺射方式是調(diào)動(dòng)靶材內(nèi)磁場(chǎng)，使金屬離子轟擊到樣品表面的鍍膜方式。目前只能支持金屬靶材。已經(jīng)測(cè)試過的靶材有金、銀、銅、鉻、鎳、鋁、以及部分合金(鎳鐵合金)。靶材正常是2mm，不帶磁性的話 最多5mm，帶磁性的不要超過2mm，否則會(huì)有干擾。以下是對(duì)一些特殊金屬鍍膜要求:
銅：正常顏色為藍(lán)綠色，或灰色偏綠。
鋁:鍍鋁推薦使用高真空分子泵。真空時(shí)間抽長(zhǎng)一些，測(cè)試時(shí)間60s，電流500，真空度3-5pa，等電壓上升到250以上時(shí)，可以調(diào)小電流，調(diào)小真空，白光鍍不上，正常顏色為紅色。
鉻:靶材厚度 0. 5mm 左右
鎳：靶材厚度2mm，5 建議真空度為2-3pa，建議電流為200-300ma，真空度不能太高 電流不要太大。
鈦：真空度示數(shù)要低，功率要高，建議500ma，時(shí)間60.正常濺射為綠色，出現(xiàn)白色輝光時(shí) 電壓正常，但是鍍不上，需要注意。
常見問題；1、有電流，沒電壓，是短路。
2、電壓直接到1000v，真空度過高，加大氬氣量。
小型蒸鍍儀是通過高溫蒸發(fā)的方式鍍膜。支持蒸鍍金屬和有機(jī)物。目前已測(cè)試的金屬有金、銀、銅、鉻、鎳、鋁，有機(jī)物(石蠟)。蒸鍍儀增加膜厚監(jiān)測(cè)需要用到帶有屏蔽溫度的陶瓷坩堝(原因是高溫會(huì)影響膜厚儀的測(cè)試結(jié)果)。以下是對(duì)一些特殊金屬鍍膜要求。
鋁:鍍鋁需要用到陶瓷坩堝。是因?yàn)殇X高溫熔化時(shí)會(huì)滲透進(jìn)鎢舟，發(fā)生脆性相，鎢舟容易斷鎳:熔點(diǎn)較高(1453°)，需要用鎳絲纏繞鎢棒進(jìn)行蒸發(fā)。同樣會(huì)滲透進(jìn)鎢棒內(nèi)，使鎢棒斷
裂
鉻:需要用到鉻鎢棒進(jìn)行蒸發(fā)鍍膜熔點(diǎn)較高(1850 左右°)
會(huì)員1.png)