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更新時(shí)間：2024-01-29 08:10:09瀏覽次數(shù)：219次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 重工機(jī)械網(wǎng)臺(tái)式掃描電子顯微鏡臺(tái)式掃描電鏡(臺(tái)式SEM)簡(jiǎn)介：臺(tái)式掃描電子顯微鏡(DesktopScanningElectronMicroscope,DesktopSEM)的概念是美國(guó)FEI公司(1997年原FEI和飛利浦電子光學(xué)合并而成)提出的
臺(tái)式掃描電鏡(臺(tái)式SEM)簡(jiǎn)介：
臺(tái)式掃描電子顯微鏡(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM)的概念是美國(guó)FEI公司(1997年原FEI和飛利浦電子光學(xué)合并而成)提出的，并與2006年正式發(fā)布了旗下的Phenom臺(tái)式掃描電鏡，并于2009年成立Phenom-World公司，專業(yè)研發(fā)并生產(chǎn)臺(tái)式掃描電鏡。相較于傳統(tǒng)大型SEM，臺(tái)式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡(jiǎn)便、價(jià)格便宜，放大倍數(shù)在100,000倍左右，快速抽真空，不用噴金測(cè)量不導(dǎo)電樣品等優(yōu)勢(shì)。此類新型儀器的出現(xiàn)光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡之間的間隙，可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米顆粒、生物醫(yī)學(xué)、食品藥品、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域。
臺(tái)式掃描電鏡(臺(tái)式SEM)組成：
真空系統(tǒng):一般采用機(jī)械泵與分子泵聯(lián)動(dòng)
電子槍:一般為L(zhǎng)aB6(六硼化鑭)、CeB6(六硼化鈰)或鎢燈絲，其中鎢燈絲的壽命較短，僅為40-100小時(shí)，需頻繁更換，LaB6、CeB6燈絲壽命超過(guò)1000小時(shí)，且亮度更高。目前尚沒(méi)有采用場(chǎng)發(fā)射(Field Emission)的臺(tái)式掃描電鏡。
電磁透鏡
探測(cè)器:背散射電子或二次電子探測(cè)器
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