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聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 重工機(jī)械網(wǎng)應(yīng)用：全自動(dòng)晶圓鍵合系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)），用于大批量生產(chǎn)
應(yīng)用：全自動(dòng)晶圓鍵合系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)），用于大批量生產(chǎn)。
一、簡(jiǎn)介
EVG560自動(dòng)化晶圓鍵合系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)）最多可容納四個(gè)鍵合室，并具有各種鍵合室配置選項(xiàng)，適用于所有鍵合工藝和300 mm的晶圓。EVG560鍵合機(jī)基于相同的鍵合室設(shè)計(jì)，并結(jié)合了EVG手動(dòng)鍵合系統(tǒng)的主要功能以及增強(qiáng)的過程控制和自動(dòng)化功能，可提供高產(chǎn)量的生產(chǎn)鍵合。機(jī)器人處理系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)加載和卸載處理室。
二、特征
三、技術(shù)數(shù)據(jù)
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