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聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 重工機(jī)械網(wǎng)應(yīng)用：全自動(dòng)晶圓鍵合系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)），適用于蕞大300mm的基板一、簡(jiǎn)介EVG540自動(dòng)化晶圓鍵合系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)）是一種自動(dòng)化的單腔室生產(chǎn)鍵合機(jī)，設(shè)計(jì)用于中試線生產(chǎn)以及用于晶圓級(jí)封裝，3D互連和MEMS應(yīng)用的大批量生產(chǎn)的研發(fā)
應(yīng)用：全自動(dòng)晶圓鍵合系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)），適用于蕞大300 mm的基板
一、簡(jiǎn)介
EVG540自動(dòng)化晶圓鍵合系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)）是一種自動(dòng)化的單腔室生產(chǎn)鍵合機(jī)，設(shè)計(jì)用于中試線生產(chǎn)以及用于晶圓級(jí)封裝，3D互連和MEMS應(yīng)用的大批量生產(chǎn)的研發(fā)。EVG540基于模塊化設(shè)計(jì)，為我們未來(lái)的晶圓鍵合工藝從研發(fā)到大規(guī)模生產(chǎn)的全集成生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)過(guò)渡提供了可靠的解決方案。
圖1 晶圓鍵合機(jī)鍵合結(jié)果
二、特征
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