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SemiPOL高精密定量研磨機

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

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更新時間:2025-01-22 09:28:56瀏覽次數:115次

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產品簡介

?SemiPOL能夠對各種材料(光學鏡片、半導體晶片、金屬非金屬晶相)進行精確的研磨拋光,從而進行顯微鏡(SEM、FIB、TEM等)分析。

詳細介紹

SemiPOL 高精密定量研磨機

SemiPOL能夠對各種材料(光學鏡片、半導體晶片、金屬非金屬晶相)進行精確的研磨拋光,從而進行顯微鏡(SEM、FIB、TEM等)分析。目標精度微米級。主要作平行研磨拋光,結合更多附件,使復雜異形件及面的研磨拋光更容易。 實時監(jiān)控材料去除量,或量化設定材料磨屑量并實現(xiàn)無人值守操作。雙步進電機驅動,分別控制研磨座擺動速度和幅度提高研磨件平面度、光整度及研磨耗材利用率。

產品特點

(1)研磨盤尺寸:8英寸(Φ203mm);

(2)研磨盤轉速:0–600rpm,可正轉/反轉;

(3)液晶屏實時顯示材料去除量,分辨率1um,穩(wěn)定精度10um;

(4)可設定材料磨削量,分辨率1um,穩(wěn)定精度10um,磨屑量到達設定值,設備自動停止運行;

(5)可設定研磨時間,研磨時間到達設定值,設備自動停止運行;

(6)7英寸液晶顯示/觸摸屏,可保存/編輯至少20組參數;

(7)樣品可自轉,可不轉,可往復擺動,擺動幅度可調;

(8)自動/手動控制冷卻水通斷;

(9)主軸電機功率750W,采用伺服電機,大扭矩、恒扭矩輸出;樣品擺動采用步進電機,扭矩更大更耐用;

 

技術參數

 

型號

SemiPOL

工作盤

直徑

8英寸

轉速

0-600rpm,無極調速

轉向

CW/CCW

功率

750W

出廠校驗

平面度<2um

樣品夾持頭

轉速

0-50rpm,無極調速

轉向

CW/CCW

半幅旋轉

有,幅度可調

擺動

有,幅度、快慢可調

出廠校驗

與盤垂直度<2um;與平行度<2um

去除量

20mm

電氣

電源

220VAC

面板

7英寸觸摸屏

尺寸

WxDxH

700x430x580mm

重量

57kg

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