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東莞市中特精密儀器科技有限公司
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更新時間:2025-01-22 09:28:56瀏覽次數:115次
聯(lián)系我時,請告知來自 重工機械網?SemiPOL能夠對各種材料(光學鏡片、半導體晶片、金屬非金屬晶相)進行精確的研磨拋光,從而進行顯微鏡(SEM、FIB、TEM等)分析。

SemiPOL 高精密定量研磨機
SemiPOL能夠對各種材料(光學鏡片、半導體晶片、金屬非金屬晶相)進行精確的研磨拋光,從而進行顯微鏡(SEM、FIB、TEM等)分析。目標精度微米級。主要作平行研磨拋光,結合更多附件,使復雜異形件及面的研磨拋光更容易。 實時監(jiān)控材料去除量,或量化設定材料磨屑量并實現(xiàn)無人值守操作。雙步進電機驅動,分別控制研磨座擺動速度和幅度提高研磨件平面度、光整度及研磨耗材利用率。
產品特點
(1)研磨盤尺寸:8英寸(Φ203mm);
(2)研磨盤轉速:0–600rpm,可正轉/反轉;
(3)液晶屏實時顯示材料去除量,分辨率1um,穩(wěn)定精度10um;
(4)可設定材料磨削量,分辨率1um,穩(wěn)定精度10um,磨屑量到達設定值,設備自動停止運行;
(5)可設定研磨時間,研磨時間到達設定值,設備自動停止運行;
(6)7英寸液晶顯示/觸摸屏,可保存/編輯至少20組參數;
(7)樣品可自轉,可不轉,可往復擺動,擺動幅度可調;
(8)自動/手動控制冷卻水通斷;
(9)主軸電機功率750W,采用伺服電機,大扭矩、恒扭矩輸出;樣品擺動采用步進電機,扭矩更大更耐用;
技術參數
型號 | SemiPOL | |
工作盤 | 直徑 | 8英寸 |
轉速 | 0-600rpm,無極調速 | |
轉向 | CW/CCW | |
功率 | 750W | |
出廠校驗 | 平面度<2um | |
樣品夾持頭 | 轉速 | 0-50rpm,無極調速 |
轉向 | CW/CCW | |
半幅旋轉 | 有,幅度可調 | |
擺動 | 有,幅度、快慢可調 | |
出廠校驗 | 與盤垂直度<2um;與平行度<2um | |
去除量 | 20mm | |
電氣 | 電源 | 220VAC |
面板 | 7英寸觸摸屏 | |
尺寸 | WxDxH | 700x430x580mm |
重量 | 57kg | |
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