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安徽澤攸科技有限公司
安徽澤攸科技有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號JS10B
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地東莞市
重工機械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531
QQ:2568841715
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更新時間：2026-01-23 14:22:50瀏覽次數(shù)：99次
聯(lián)系我時，請告知來自 重工機械網(wǎng)澤攸科技JS系列臺階儀作為國產(chǎn)高精度表面測量設備的代表，憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應用場景及可靠的測量性能，在半導體制造、材料科學、微納技術(shù)等領(lǐng)域展現(xiàn)了顯著優(yōu)勢。JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號，結(jié)合高靈敏度傳感器與信號處理算法，實現(xiàn)納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點在于超微壓力恒定控制系統(tǒng).
澤攸科技臺階儀JS10B
產(chǎn)品介紹
澤攸科技手動臺階儀JS10B是一款高精度測量設備，采用一體式花崗巖結(jié)構(gòu)設計，確保了測量的穩(wěn)定性和可靠性。其配備彩色攝像頭，能清晰地觀察樣品和針尖，方便定位并實時監(jiān)控掃描區(qū)域。JS10B的最大掃描長度為55mm，重復性測量偏差不超過0.5nm，適用于晶圓尺寸≤150mm的樣品。此外，它還具備臺階、粗糙度、平整度和翹曲度等多種測量功能，廣泛應用于半導體、微電子等領(lǐng)域。
應用領(lǐng)域
產(chǎn)品組成
突破三大核心技術(shù)
產(chǎn)品特色
JS10B臺階儀部分技術(shù)指標
名稱 | 詳細參數(shù) |
| 樣品尺寸 | ≤150mm |
| 最大掃描長度 | 55mm |
| 重復性測量偏差 | ≤0.5nm（1μm標準塊重復掃描30次） |
| 探針加力范圍 | 0.5-50mg |
| 垂直分辨率 | 0.05nm滿量程 |
| 掃描分辨率 | 10nm |
| 掃描速度 | 5μm/s-100μm/s |
| 掃描最大采集點數(shù) | 200萬點 |
| 軟件功能 | 臺階、粗糙度、平整度和翹曲度測量 |
案例應用
18nm樣品
68um樣品
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