日立球差校正透射電子顯微鏡HF5000是日立的200kV球差校正場(chǎng)發(fā)射透射電鏡,采用冷場(chǎng)發(fā)射電子槍和全自動(dòng)化的球差校正技術(shù),在保證超高分辨率的同時(shí)大大簡(jiǎn)化操作,實(shí)現(xiàn)高分辨觀察與易用性的結(jié)合.HF5000同樣具有超高空間分辨率的分析能力,配合電子能量損失譜（EELS）和大面積無(wú)窗能譜（EDS）可以對(duì)原子級(jí)圖像進(jìn)行觀察和分析,是材料微觀結(jié)構(gòu)研究的工具.

詳細(xì)介紹

主要特點(diǎn)：

日立研發(fā)的全自動(dòng)STEM球差校正器

高穩(wěn)定、高亮度的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍

TEM、STEM、SEM三位一體

大面積、大固體角的無(wú)窗能譜儀

全新設(shè)計(jì)的鏡筒和高壓系統(tǒng)

全新設(shè)計(jì)的保護(hù)罩和熒光屏相機(jī)

高穩(wěn)定性側(cè)插樣品桿

兼容日立的特殊樣品桿和FIB系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域：

HF5000作為一款球差校正冷場(chǎng)發(fā)射透射電鏡，其分辨率達(dá)到了亞埃級(jí)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的超細(xì)微觀結(jié)構(gòu)的觀察和分析，

適用于金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、納米材料等的觀察。同時(shí)，HF5000的TEM、STEM、SEM三位一體功能不僅

可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的研究，也可以獲得材料表面的信息。原子級(jí)分辨率的二次電子探測(cè)器可以彌補(bǔ)TEM和STEM

無(wú)法觀察樣品表面的缺陷，同時(shí)相比普通的SEM又具有更高的分辨率，可以滿(mǎn)足樣品表面高分辨形貌和結(jié)構(gòu)觀察的需求，

與TEM和STEM形成互補(bǔ)。全自動(dòng)化的球差校正過(guò)程又大大簡(jiǎn)化了球差校正透射電鏡的使用難度，提高了觀察效率，

尤其適合測(cè)試平臺(tái)和科研中心等用戶(hù)。

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