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高真空閥

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SMC（中國(guó)）有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高真空閥

詳細(xì)介紹

鋁制高真空L型閥 XLA/C/F/G

	?采用鋁制主體　均一的烤焙溫度　重量輕、外形緊湊　放出氣體少　重金屬污染少 ?可更換波紋管

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其他資料

系列	操作方式	閥形式	軸密封方式	用途	法蘭尺寸
XLA-2	氣控	單作用（N.C.）	波紋管密封	除塵凈化	16～80
XLAV-2（帶電磁閥）	氣控	單作用（N.C.）	波紋管密封	除塵凈化	16～80
XLC-2	氣控	雙作用	波紋管密封	除塵凈化	16～80
XLF-2	氣控	單作用（N.C.）	O形圈密封	高速動(dòng)作高動(dòng)作次數(shù)	16～80
XLFV-2（帶電磁閥）	氣控	單作用（N.C.）	O形圈	高速動(dòng)作高動(dòng)作次數(shù)	16～80
XLG-2	氣控	雙作用	O形圈	高速動(dòng)作高動(dòng)作次數(shù)	16～80

鋁制高真空L型閥XLA/C/F/G

系列	下載
XLA-2
XLAV-2（帶電磁閥）
XLC-2
XLF-2
XLFV-2（帶電磁閥）
XLG-2

鋁材質(zhì)高真空L型閥 XLA/C-100?160（-1）-X152

	?波紋管耐久性提升（法蘭尺寸100、160） ?壽命：200萬次 ?可實(shí)現(xiàn)裝置的省空間化　無排氣方向限制(閥體側(cè)←→波紋管側(cè) 兩方向均可) 　安裝姿勢(shì)的自由度提升 ?輕量、緊湊

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其他資料

系列	操作方式	閥形式	軸密封方式	用途	法蘭尺寸
XLA-100?160-X152	氣控	單作用（N.C.）	波紋管密封	除塵凈化	100、160

鋁材質(zhì)高真空L型閥XLA/C-100?160（-1）-X152

系列	下載
XLA-100?160-X152

鋁制高真空L型閥 XL□

	?耐氟。 ?放出氣體量少。 ?重金屬污染少。 ※法蘭尺寸16?80的XLA/C/F/G已進(jìn)行了產(chǎn)品變更。　請(qǐng)選擇XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。

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其他資料

系列	操作方式	閥形式	軸密封方式	用途	法蘭尺寸
XLA	氣控	單作用（N.C.）	波紋管密封	防塵凈化	16～160
XLAV（帶電磁閥）	氣控	單作用（N.C.）	波紋管密封	除塵凈化	16～160
XLC	氣控	雙作用	波紋管密封	除塵凈化	16～160
XLCV（帶電磁閥）	氣控	雙作用	波紋管密封	除塵凈化	16～80
XLF	氣控	單作用（N.C.）	O形圈密封	高速動(dòng)作高動(dòng)作次數(shù)	16～160
XLFV（帶電磁閥）	氣控	單作用（N.C.）	O形圈	高速動(dòng)作高動(dòng)作次數(shù)	16～160
XLG	氣控	雙作用	O形圈	高速動(dòng)作高動(dòng)作次數(shù)	16～160
XLGV（帶電磁閥）	氣控	雙作用	O形圈	高速動(dòng)作高動(dòng)作次數(shù)	16～80
XLD	氣控	單作用（N.C.）	波紋管密封 O形圈密封	防止揚(yáng)塵防止泵過載	25～160
XLDV（帶電磁閥）	氣控	單作用（N.C.）	波紋管密封 O形圈密封	防止揚(yáng)塵防止泵過載	25～160
XLH	手動(dòng)	手動(dòng)	波紋管密封	除塵凈化	16～50
XLS	電磁式	單作用（N.C.）	(波紋管平衡)	無需空氣可搬運(yùn)裝置用	16，25

鋁制高真空L型閥XL□

系列	下載
XLA
XLAV（帶電磁閥）
XLC
XLCV（帶電磁閥）
XLF
XLFV（帶電磁閥）
XLG
XLGV（帶電磁閥）
XLD
XLDV（帶電磁閥）
XLH
XLS

鋁制快速拆裝型高真空L型閥 XLAQ?XLDQ

	?快速拆裝（無需工具）。

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其他資料

系列	操作方式	軸密封方式	閥形式	材質(zhì)	法蘭尺寸
XLAQ	氣控	波紋管密封	單作用（N.C.）	主體：鋁波紋管：SUS316L	16～50
XLDQ	氣控	波紋管密封 O形圈密封	單作用（N.C.）	主體：鋁波紋管：SUS316L	40，50

鋁制快速拆裝型高真空L型閥XLAQ?XLDQ

系列	下載
XLAQ
XLDQ

不銹鋼制高真空L型／直線型閥 XM/XY

	?無氣體積留的精密鑄造結(jié)構(gòu)。 ?鋁制高真空L型閥，安裝上具有與XL系列的互換性（XM系列）。注）直線型無尺寸16。

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其他資料

系列	操作方式	軸密封方式	閥形式	材質(zhì)	法蘭尺寸
XMA/XYA	氣控	波紋管密封	單作用（N.C.）	主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304）波紋管：SUS316L	16～80 注）
XMC/XYC	氣控·	波紋管密封	雙作用	主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304）波紋管：SUS316L	16～80 注）
XMD/XYD	氣控	波紋管密封 O形圈密封	單作用（N.C.）	主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304）波紋管：SUS316L	25～80
XMH/XYH	手動(dòng)	波紋管密封	手動(dòng)	主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304）波紋管：SUS316L	16～50 注）

不銹鋼制高真空L型／直線型閥XM/XY

系列	下載
XMA/XYA
XMC/XYC
XMD/XYD
XMH/XYH

常閉型高真空電磁閥 XSA

	?使用壓力：1×10^-6Pa(abs) ?泄漏量：內(nèi)部1.3×10^-9Pa?m³/s、外部1.3×10^-11Pa?m³/s。 ?有2種接頭和內(nèi)螺紋可選。 ?消耗功率：最多削減25％。 ?質(zhì)量：最多減小18％　0.5kg→0.41kg。

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其他資料

系列	閥形式	使用流體	配管連接方式	配管尺寸
XSA	常閉	空氣惰性氣體	面密封接頭卡套式接頭	1/4, 3/8
XSA	常閉	空氣惰性氣體	Rc, NPT內(nèi)螺紋	1/8, 1/4, 3/8

常閉型高真空電磁閥XSA

系列	下載
XSA
XSA

平穩(wěn)排氣閥 XVD

	?閥與針閥一體化，配管空間為原來的1/4。 ?密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產(chǎn)生。 ?初始供氣、主給気可同時(shí)進(jìn)行流量調(diào)節(jié)。