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干式真空泵 A 100 L,A 200 L

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更新時間：2021-05-11 16:04:54瀏覽次數(shù)：860次

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  真空泵

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伯東企業(yè)（上海）有限公司

經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：31條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：葉南（助理）

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產(chǎn)品簡介

上海伯東銷售維修 Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L,A 200 L，用于潔凈制程的整體式干泵，緊湊設(shè)計，大抽速，低能耗，滿足半導(dǎo)體行業(yè)機(jī)臺內(nèi)直接安裝和快速抽空的設(shè)計要求，是load-lock、傳送腔及其他非腐蝕性工藝的解決方案。

詳細(xì)介紹

價格貨期電議！

Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L排除了泵安裝中的真空管路影響，通過使用 Pfeiffer 整體式干泵，可降低真空管路安裝、集成和調(diào)試的成本。Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L高可靠性和穩(wěn)定性使其脫穎而出，現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于范圍內(nèi)的 300 mm 半導(dǎo)體工廠。

干式真空泵 A 100 L,A 200 L平均故障間隔時間超過 195000 小時，提供干燥無塵的潔凈真空，適合在無塵室中使用，整體式干泵也為太陽能光電設(shè)備提供佳解決方案。低噪音和低振動是該水冷型干泵的其他優(yōu)勢，小巧的體積保證了其在大型機(jī)臺內(nèi)集成的便利性，是各大設(shè)備廠商優(yōu)選。

干式真空泵 A 200 L是針對高氣流量應(yīng)用的全新解決方案，抽速200 m3/h，再次展示出了其在整體式干泵市場中重要地位。

上海伯東 Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L,A 200 L主要優(yōu)點
高氣流量，大抽速
結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小
易于集成，運行成本低
低噪音和低震動，無油無塵
即插即用系統(tǒng)：集成型監(jiān)察裝置
干式真空泵 RS232 / RS485 接口可選

Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 應(yīng)用行業(yè)
Load-lock 和傳送腔
半導(dǎo)體生產(chǎn)
光伏
工業(yè)（低溫，氣體制造，激光源）
分析儀（用于電子顯微術(shù)或表面分析的閘室）

Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 技術(shù)參數(shù)

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型號

進(jìn)氣口尺寸 DN

極限壓力 hPa

抽速

噪音比

重量

m³/h

dB (A)

A 100 L

6.6 X 10^-3

100

A 100L ES

7 X 10^-4

100

A 200 L

8 X 10^-3

200

100

L:標(biāo)準(zhǔn)版本 ES:節(jié)能版本

干式真空泵 A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本
冷卻水循環(huán)，在前端配置運行時間記錄儀和三色 LED 指示燈時時顯示泵當(dāng)前狀態(tài)。
主要在售型號：
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，低電壓，16 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，低電壓，19 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，低電壓，RS232/485 接口，16 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，低電壓，RS232/485 接口，19 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，高電壓，16 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，高電壓，19 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，高電壓，RS232/485 接口，16 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，高電壓，RS232/485 接口，19 針 I/O

A 100 L ES 節(jié)能版本
緊湊型干泵集成節(jié)能模塊，有效減少了 50% 的耗電量。冷卻水循環(huán)，在前端配置運行時間記錄儀和三色 LED 指示燈時時顯示泵當(dāng)前狀態(tài)。

主要在售型號：
A 100 L ES 節(jié)能版本，低電壓，16 針 I/O
A 100 L ES 節(jié)能版本，低電壓，19 針 I/O
A 100 L ES 節(jié)能版本，低電壓，RS232/485 接口，16 針 I/O
A 100 L ES 節(jié)能版本，低電壓，RS232/485 接口，19 針 I/O
Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 抽速圖

上海伯東主營產(chǎn)品：德國普發(fā) Pfeiffer 渦輪分子泵，干式真空泵，羅茨真空泵，旋片真空泵；應(yīng)用于各種真空環(huán)境下的真空計，氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)譜分析儀以及美國考夫曼公司 KRI 離子源離子槍霍爾源，美國 HVA 真空閥門，Polycold 冷凍機(jī)，離子刻蝕機(jī)，Europlasma等離子納米涂層設(shè)備等。