Trimos光學(xué)表面測量-TR 掃描緊湊型 WLI

 TR 掃描緊湊型 WLI

高精度非接觸表面測量

TR Scan Compact WLI 系列可以以亞納米級分辨率測量任何類型的材料。

它使用簡單、體積小，可輕松集成到實驗室環(huán)境中，并可實現(xiàn)快速、簡單的測量。

WLI（白光干涉測量）技術(shù)與壓電馬達相結(jié)合，可實現(xiàn)非?？斓臏y量。

工作臺可手動移動重達 5 公斤的工件。

電動工作臺可作為選件擴展 X&Y 測量范圍。

  特點

非接觸式

占地面積小

測量范圍 400 µm

分辨率 0.1納米

使用極其簡單

2.5x 和 5x 邁克爾遜型光學(xué)元件，視野寬闊

可更換光學(xué)元件，或安裝在旋轉(zhuǎn)架上

  Trimos光學(xué)表面測量-TR 掃描緊湊型 WLI

   技術(shù)細節(jié)

白光照明 2.5 倍白光5倍WLI 10x WLI 20xWLI 50x白光 100x

解決0.1 納米0.1 納米0.1 納米0.1 納米0.1 納米0.1 納米

橫向分辨率（X/Y）4.81 微米4.81 微米1.2 微米0.9 微米0.66 微米0.52 微米

測量范圍400 微米400 微米400 微米400 微米400 微米400 微米

測量范圍 X/Y~4536 微米

x

~3447 微米~2268 微米

x

~1723 微米~1134 微米 

x

~861 微米~567 微米

x

~430 微米~226 微米

x

~172 微米~113 微米

x

~86 微米