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顯微測(cè)量?jī)x

• 臺(tái)式掃描電鏡
• 臺(tái)階儀
• 共聚焦顯微鏡
• 白光干涉儀

三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x

• 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

影像測(cè)量?jī)x

• 二次元影像測(cè)量?jī)x
• 復(fù)合式影像測(cè)量?jī)x
• 全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x

激光測(cè)量?jī)x

• 激光測(cè)長(zhǎng)儀
• 激光干涉儀
• 激光跟蹤儀

輪廓測(cè)量?jī)x

• 光學(xué)輪廓儀
• 粗糙度輪廓儀

一鍵式測(cè)量?jī)x

• 閃測(cè)儀
• 圖像尺寸測(cè)量?jī)x

測(cè)長(zhǎng)儀

• 光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī)
• 激光測(cè)長(zhǎng)機(jī)

在機(jī)測(cè)量系統(tǒng)

• 機(jī)床測(cè)頭

其它幾何計(jì)量檢測(cè)儀

• 高度計(jì)

半導(dǎo)體專(zhuān)業(yè)檢測(cè)設(shè)備

• 晶圓形貌測(cè)量系統(tǒng)