一、型號含義與基本參數(shù)
型號結(jié)構(gòu)：XLH-16-XA
| 代號 | 含義 | 具體說明 |
|---|---|---|
| XLH? | 系列代號 | SMC XLH 系列高真空 L 型閥 |
| 16? | 法蘭公稱尺寸 | DN16，適配 ISO-KF(NW) 標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭 |
| XA? | 可選項 | 波紋管密封、低放氣、低重金屬污染設(shè)計 |
主要技術(shù)參數(shù)（典型值）：
| 特性 | 規(guī)格 | 實際意義 |
|---|---|---|
| 法蘭公稱尺寸? | DN16 | 適配 ISO-KF(NW) 標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭 |
| 密封方式? | 波紋管密封 | 動態(tài)密封可靠，放氣率低 |
| 音速流導(dǎo)? | 約 5 L/s | 高流導(dǎo)，對系統(tǒng)抽速影響小 |
| 內(nèi)部泄漏量? | ≤1.3×10?1? Pa·m3/s | 極低泄漏，滿足高真空要求 |
| 外部泄漏量? | ≤1.3×10?11 Pa·m3/s | 外部密封性能優(yōu)異 |
| 密封材質(zhì)? | FKM（氟橡膠） | 耐化學(xué)腐蝕，適用于多種工藝氣體 |
| 閥體材質(zhì)? | 鋁合金 | 輕量化、熱傳導(dǎo)均勻、低放氣 |
| 表面處理? | 外部硬質(zhì)陽極氧化，內(nèi)部素面 | 耐腐蝕、低放氣、低重金屬污染 |
| 適用壓力范圍? | 大氣壓～高真空（約 10?～10?? Pa） | 粗真空至高真空均可使用 |
| 使用流體? | 空氣、惰性氣體、非腐蝕性氣體 | 工業(yè)真空系統(tǒng)、科研設(shè)備通用 |
| 使用溫度? | 0～60 ℃（動作），-10～60 ℃（保存） | 常規(guī)工業(yè)與實驗室環(huán)境適用 |
| 有無加熱器? | 無 | 適用于無需高溫烘烤的場合 |
二、結(jié)構(gòu)特點與工作原理
結(jié)構(gòu)組成：
- 閥體與法蘭：鋁合金材質(zhì)，L 型流道，DN16 法蘭接口，符合 ISO-KF(NW) 標(biāo)準(zhǔn)，便于與真空系統(tǒng)快速對接。
- 波紋管密封：采用金屬波紋管實現(xiàn)閥桿與閥體之間的動態(tài)密封，避免軸封處氣體泄漏，同時減少放氣量。
- 密封面與閥座：采用 FKM 氟橡膠密封圈，耐化學(xué)腐蝕、耐老化，密封可靠。
- 表面處理：外部硬質(zhì)陽極氧化，內(nèi)部素面，減少放氣與重金屬污染，適合潔凈環(huán)境。
- 驅(qū)動方式：手動或氣動執(zhí)行器（根據(jù)具體型號配置），操作力矩小，啟閉輕便。
工作原理：
XLH-16-XA 為高真空 L 型閥，通過閥桿帶動閥板在閥座間運動，實現(xiàn)真空管路的通斷控制。當(dāng)閥板關(guān)閉時，閥座與密封圈緊密貼合，切斷真空腔室與泵或大氣之間的通路；當(dāng)閥板開啟時，L 型流道提供較大流導(dǎo)，對系統(tǒng)抽速影響小。波紋管密封將閥桿與大氣隔離，避免軸封處氣體泄漏，同時減少放氣，保證高真空環(huán)境下的密封性能。
三、核心優(yōu)勢
1. 高真空性能與極低泄漏
- 內(nèi)部泄漏量 ≤1.3×10?1? Pa·m3/s，外部泄漏量 ≤1.3×10?11 Pa·m3/s，滿足高真空系統(tǒng)對密封性的嚴(yán)格要求。
- 音速流導(dǎo)約 5 L/s，對系統(tǒng)抽速影響小，有利于快速建立和維持真空度。
2. 波紋管密封，低放氣、低污染
- 采用金屬波紋管密封閥桿，避免軸封處氣體泄漏，同時減少材料放氣。
- 閥體鋁合金材質(zhì)，表面硬質(zhì)陽極氧化，內(nèi)部素面，放氣率低，重金屬污染小，適合半導(dǎo)體、光電等潔凈環(huán)境。
3. 耐化學(xué)腐蝕與長壽命
- 密封材質(zhì)為 FKM 氟橡膠，耐多種化學(xué)介質(zhì)，適用于含氟工藝氣體等腐蝕性環(huán)境。
- 波紋管可更換設(shè)計，關(guān)鍵密封件可單獨更換，延長閥門整體使用壽命，降低維護成本。
4. 輕量化與緊湊設(shè)計
- 鋁合金閥體，重量輕，便于安裝與維護。
- L 型流道設(shè)計，空間布局緊湊，適合高密度安裝的真空系統(tǒng)。
四、典型應(yīng)用場景
1. 半導(dǎo)體與光電制造
- 真空鍍膜設(shè)備、PVD/CVD 腔室隔離閥，用于控制工藝氣體與真空泵之間的通路。
- 晶圓傳輸系統(tǒng)、真空鎖室閥門，實現(xiàn)高潔凈環(huán)境下的真空隔離與切換。
2. 科研與實驗室設(shè)備
- 高真空實驗裝置、分析儀器（如質(zhì)譜儀、電子顯微鏡）的真空管路控制。
- 真空干燥、真空蒸餾、真空反應(yīng)釜等實驗設(shè)備的真空隔離與放氣控制。
3. 工業(yè)真空系統(tǒng)
- 真空泵入口隔離閥，用于保護真空泵，防止返油或工藝氣體污染。
- 真空爐、真空釬焊爐、真空熱處理設(shè)備的真空管路切換與隔離。
4. 醫(yī)療與生物技術(shù)
- 真空冷凍干燥機、真空滅菌設(shè)備、生物反應(yīng)器等設(shè)備的真空控制。
- 潔凈室環(huán)境下的真空輸送與處理系統(tǒng)。
五、安裝與使用注意事項
安裝要點：
- 安裝前清潔閥體與管路，確保無油污、灰塵、焊渣等雜質(zhì)，避免污染真空系統(tǒng)。
- 法蘭對接需對中，螺栓均勻緊固，避免單邊受力導(dǎo)致密封面變形。
- 建議在閥前安裝過濾器，防止顆粒物進(jìn)入閥腔，影響密封性能。
- 安裝位置應(yīng)便于操作與維護，避免高溫、強振動或直接濺水環(huán)境。
使用注意事項：
- 使用清潔干燥的壓縮空氣或惰性氣體，避免含油、水、腐蝕性介質(zhì)。
- 工作壓力不應(yīng)超過額定范圍，避免過載損壞閥門。
- 啟閉操作應(yīng)平穩(wěn)，避免快速開關(guān)造成沖擊，影響密封壽命。
- 定期檢查密封性能，如發(fā)現(xiàn)泄漏應(yīng)及時更換密封件或波紋管。
- 長期停用前，應(yīng)進(jìn)行防銹處理，并定期動作閥門，防止密封件粘連。
維護保養(yǎng)：
- 定期檢查波紋管與密封圈狀態(tài)，如有老化、裂紋應(yīng)及時更換。
- 定期清潔閥體表面與法蘭密封面，保持清潔干燥。
- 長期停用后重新啟用時，建議行抽真空測試，確認(rèn)密封性能。
- 若需更換密封件，應(yīng)在潔凈環(huán)境下進(jìn)行，避免污染閥體內(nèi)部。
六、選型建議
適合選用 XLH-16-XA 的情況：
- 需要高真空性能、極低泄漏率的真空系統(tǒng)。
- 工作環(huán)境對放氣與重金屬污染有嚴(yán)格要求，如半導(dǎo)體、光電、科研設(shè)備。
- 需要耐化學(xué)腐蝕，適用于含氟等工藝氣體的場合。
- 空間受限，需要緊湊型 L 型閥，便于高密度安裝。
選型計算參考：
- 根據(jù)系統(tǒng)真空度等級選擇密封形式，高真空（≤10?3 Pa）建議優(yōu)先選用波紋管密封結(jié)構(gòu)。
- 按系統(tǒng)流量與管路通徑選擇法蘭尺寸，確保流導(dǎo)滿足抽速要求。
- 考慮介質(zhì)腐蝕性，選擇適合的密封材質(zhì)（如 FKM 適用于多數(shù)惰性氣體與含氟環(huán)境）。
- 根據(jù)自動化程度與操作頻率選擇驅(qū)動方式（手動、氣動或電動）。
七、小結(jié)
XLH-16-XA 是一款高真空 L 型閥，采用鋁合金閥體、波紋管密封和 FKM 氟橡膠密封圈，具有極低泄漏、低放氣、低重金屬污染等特點。其 DN16 法蘭接口、緊湊 L 型流道設(shè)計，使其成為半導(dǎo)體、光電、科研及工業(yè)真空系統(tǒng)的理想選擇。通過合理的選型、正確的安裝和定期的維護，該閥門能夠長期穩(wěn)定運行，為高真空環(huán)境提供可靠的通斷控制與隔離保護。
| XLH-25 |
| XLH-40 |
| XLH-25-XF1A |
| XLH-40-XA |
| XLH-16-XA |
| XLH-50 |
| XLH-25-XN1A |
| XLH16-30-1 |
| XLH-40 |
| XLH-16 |
| XLH-25-XQ1B |
| XLH-25 |
| XLH-16 |
