| 參數(shù) | FR-系列 | 橢偏儀 | 探針針式輪廓儀 | X 射線反射率 (XRR) |
| 最小測(cè)量厚度 | 1nm | <1nm | 20nm | <1nm |
| 測(cè)量厚度 | 500um | 10um | Few mm | 200-300 nm (depending on the contrast) |
| 折射率測(cè)量 | 是 | 是 | 否 | 否 |
| 厚度測(cè)繪 | 是 | 是 | 是 | Time consuming |
| 階高輪廓 | 否 | 否 | 是 | 否 |
| 制程即時(shí)監(jiān)控能力 | 高 | 中等 | N/A | N/A |
| 探頭位于樣品正上方 | 是 | 否 | 否 | 否 |
| 整體測(cè)量速度 | 高 | 中等 | Slow | Very Slow |
| 數(shù)據(jù)獲取率 | 10msec / 每次測(cè)量 | >2sec-快速模式, >10 sec. –標(biāo)準(zhǔn)模式 | 5-30sec / 每次測(cè)量 | 平均:30 分鐘 / 每次測(cè)量 |
| 可移動(dòng)性 | 是 | 否 | 否 | 否 |
| 易于使用 | 是 | 中等 | 是 | 否 |
| 破壞性檢測(cè) | 否 | 否 | 是 | 否 |
| 需特別訓(xùn)練 | 否 | 是 | 否 | 是 |
| 移動(dòng)部件 | 否 | 是 | 是 | 是 |
| 重復(fù)性/穩(wěn)定性 | 0.1nm | 0.1nm | 0.4nm | 是 |
| 熱環(huán)境測(cè)量 | 是 | 是 | 否 | Ν/Α |
| 樣品制備 | 否 | 否 | 是 | 否 |
| 多層測(cè)量 | 是 | 是 | 否 | 是 |
| 定制 | 是 | 否 | 否 | 是 |
| 反射率、透射率、吸收率、鏡面反射/漫反射、霧度、顏色測(cè)量 | 是 | 是(特定條件下) | 否 | 否 |
| 尺寸 | 手持/桌面 體積小(>300mm W x 110mm D x 40mm H)* | 桌面 體積中等(500 mm W x 300 mm D x 300 mm H) | 桌面 體積中等(450 mm W x 550 mm D x 350 mm H) | 體積大(1400mm W x 850mm D x 1800 H) |
| 重量 | 0.65Kg * | >17 kg | >30 kg | >350Kg |
| 更換零件的價(jià)格 | 低 | 高 | 高 | 極高 |
| 價(jià)格(基本系統(tǒng)) | 低(<$10K) | 高(>$30K) | 高(>$30K) | 極高 |
| 可測(cè)量特性 | 膜厚 折射率 表面粗糙度 均勻度 | 單波長(zhǎng)橢偏儀 膜厚 折光率 橢偏儀 膜厚 折射率 表面粗糙度 均勻度 雙折射 結(jié)晶度 各向異性 | 膜厚 臺(tái)階高度 粗糙度 波度 二維應(yīng)力 表面曲率 | 除了厚度之外,還提供以下信息:每個(gè)子層的粗糙度、密度和厚度、子層之間的相互擴(kuò)散 |



