
Ø 測量范圍
| 項(xiàng)目 | 測量范圍 | 分辨率 |
| 驅(qū)動器 | 120mm | 0.05μm |
| 傳感器 | 30mm | 0.05μm |
| 立柱 | 420mm | - |
Ø 技術(shù)規(guī)格
| 技術(shù)參數(shù) | 線性精度1 | ±(0.8+|0.15H|)μm |
| 圓弧2 | ±(1.5+R/12)μm | |
| 角度3 | ±1′ | |
| 直線度4 | 0.5μm/100mm | |
| 運(yùn)動控制 | X軸驅(qū)動方式 | 電動 |
| Z軸驅(qū)動方式 | 電動 | |
| X軸驅(qū)動速度 | 0.05~20mm/s | |
| Z軸驅(qū)動速度 | 0.2-20mm/s |
Ø 設(shè)備配置
| 類別 | 部件名稱 | 規(guī)格號 | 數(shù)量 |
| 主機(jī)部分 | 一體式人體工學(xué)機(jī)臺 | cp-mp2 | 一套 |
| 高速型立柱 | cp-cn-wr | 一套 | |
| 低噪驅(qū)動器 | dp-d-cspm | 一套 | |
| 低噪數(shù)字式輪廓傳感器 | cp-ztr-chpd | 一套 | |
| 電器控制系統(tǒng) | cp-mc | 一套 | |
| 軟件 | CAS | 一套 | |
| 附件 | 電腦 | cp-01 | 一套 |
| 打印機(jī) | pr-1 | 一套 | |
| 調(diào)整臺 | cp-br-150 | 一套 | |
| 精密正弦平臺鉗 | fq-4 | 一套 | |
| 工具箱 | tb-10 | 一套 | |
| 校正標(biāo)準(zhǔn)件 |
| 一套 | |
| 輪廓標(biāo)配測桿 | D8-4-32-200 | 一支 | |
| 單切面測針 | 4D-32-17 | 一支 |
Ø 設(shè)備尺寸
| 外形尺寸(mm) | 主機(jī)重量 (Kg) | ||
| Lx | Ly | Lz | |
| 1400 | 850 | 1780 | 350 |



