設(shè)備簡(jiǎn)介：
本機(jī)主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導(dǎo)體材料的雙面高精度研磨或拋光，也適用于其它金屬、非金屬、光學(xué)玻璃、藍(lán)寶石等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。
設(shè)備特點(diǎn)：
1.機(jī)身結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)，機(jī)架采用龍門式結(jié)構(gòu)，剛性好，承壓能力強(qiáng)，能滿足高負(fù)載下高速穩(wěn)定運(yùn)行。
2.下盤、上盤和太陽(yáng)輪分別由電機(jī)單獨(dú)驅(qū)動(dòng)，電機(jī)均采用變頻電機(jī)且使用變頻調(diào)速器控制，能在有效設(shè)置范圍內(nèi)以任意速度工作，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)的停止、加速、減速及換向，能有效的防止薄脆工件破碎。
3.游星輪傳動(dòng)采用柱銷齒結(jié)構(gòu)，傳動(dòng)平穩(wěn)無(wú)沖擊，游星輪使用壽命長(zhǎng)。柱銷齒采用銷套結(jié)構(gòu)，銷套用不銹鋼材料經(jīng)熱處理加硬，防銹耐磨，柱銷齒磨損后只需更換銷套，方便簡(jiǎn)單，使用成本低。
4.上盤下降過(guò)程中，設(shè)置了快降和緩降，緩降行程在氣缸行程范圍內(nèi)可調(diào)，緩降速度也可根據(jù)工件抗沖擊程度自由調(diào)整。
5.本機(jī)通過(guò)精密電氣比例閥調(diào)整控制加工壓力，可根據(jù)不同加工工藝要求，設(shè)定加工壓力，壓力控制精度高。
6.采用的PLC系統(tǒng)，觸摸屏操作面板，所有工藝參數(shù)及工藝配方可在觸摸屏上進(jìn)行修改設(shè)置，可根據(jù)設(shè)定好的工藝參數(shù)自動(dòng)完成整個(gè)加工過(guò)程。
7.上盤升降設(shè)計(jì)安全裝置，在上盤升到頂時(shí)能有效的保護(hù)上盤不突然落下。
8.一體式，模塊化設(shè)計(jì)理念：將原來(lái)三臺(tái)減速機(jī)集成到一臺(tái)主機(jī)內(nèi)，提高了減速機(jī)的剛性，減速機(jī)模組和磨盤模組可各自裝配好后再整體裝配，提高了裝配效率，使維護(hù)更加方便快捷。
主要技術(shù)參數(shù)：
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 規(guī)格參數(shù) |
| 1 | 上研磨盤尺寸 | Ø1188×Ø360×50(mm) |
| 2 | 下研磨盤尺寸 | Ø1188×Ø360×50(mm) |
| 3 | 游星輪參數(shù) | 柱銷齒 柱銷直徑Ø10 節(jié)距19.3 齒數(shù)52 |
| 4 | 游星輪數(shù)量 | 5 |
| 5 | 工件尺寸 | Ø370(mm) |
| 6 | 工件厚度 | 0.3-30(mm) |
| 7 | 下研磨盤轉(zhuǎn)速 | 0-50(rmp) |
| 8 | 加工壓力 | 600Kg |
| 9 | 主氣缸 | 160×500 |
| 10 | 主電機(jī) | 7.5Kw |
| 11 | 上盤電機(jī) | 7.5Kw |
| 12 | 副電機(jī) | 2.2Kw |
| 13 | 設(shè)備總功率 | 18Kw |
| 14 | 外形尺寸 | 1900×1480×2700(mm) |
| 15 | 設(shè)備質(zhì)量 | ≈4500Kg |
安裝條件：
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 指標(biāo)要求 |
| 1 | 環(huán)境 | 室內(nèi)地面平坦、無(wú)振動(dòng)源 |
| 2 | 水源 | 純水或自來(lái)水 |
| 3 | 電源 | 三相五線 380V |
| 4 | 壓縮氣源 | 0.6～0.8Mpa |
| 5 | 溫度 | 0℃-45℃ |
| 6 | 相對(duì)濕度 | ≤95% |
主要配置：
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 品牌 |
| 1 | 氣缸 | 亞德客 |
| 2 | 減速器 | 整體式變速箱 |
| 3 | 軸承 | 哈、瓦、洛 |
| 4 | 可編程控制器〔PLC〕 | 臺(tái)達(dá) |
| 5 | 人機(jī)界面 | 威能 |
| 6 | 精密電氣比例閥 | 亞德客 |
| 7 | 電磁閥 | 亞德客 |
| 8 | 變頻器 | 丹佛斯 |
