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與電腦連接，制作多樣化的回收?qǐng)D案，從硅芯片的表面和側(cè)面（斜面部）回收（取樣）微量金屬污染。
●由于不需要太多的外部資源，也不占用任何空間，因此設(shè)備的部署非常簡(jiǎn)單。
●由于是機(jī)械作業(yè)，因此不需要操作人員熟練，任何人都可以輕松取樣。
●由于裝置側(cè)自動(dòng)實(shí)施采樣用藥液的供給和保持具的移動(dòng)，因此與SC-2000相比，可減少作業(yè)人員造成的污染。
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