148J 金屬密封壓力控制閥,流量范圍:10 – 20000sccm。
248A 橡膠密封壓力控制閥,流量范圍:10 – 50000sccm。
154A 大流量橡膠密封壓力控制閥,流量范圍:20 – 200slm。
250E 氣體壓力/流量控制器。其輸入壓力或流量信號(hào),通過PID閉環(huán)控制模塊,控制壓力閥和(或)質(zhì)量流量控制器
1249A 壓力控制閥驅(qū)動(dòng)器
148J 金屬密封壓力控制閥,流量范圍:10 – 20000sccm。
248A 橡膠密封壓力控制閥,流量范圍:10 – 50000sccm。
154A 大流量橡膠密封壓力控制閥,流量范圍:20 – 200slm。
250E 氣體壓力/流量控制器。其輸入壓力或流量信號(hào),通過PID閉環(huán)控制模塊,控制壓力閥和(或)質(zhì)量流量控制器
1249A 壓力控制閥驅(qū)動(dòng)器
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