沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀(guān)察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^(guān)察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)采用污染小、高真空樣品倉(cāng)
運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配),可觀(guān)察到多種成分對(duì)比度*2
極低著陸電壓下高分辨觀(guān)察

樣品:金顆粒
著陸電壓:10 V
超高分辨觀(guān)察

樣品:Pt催化劑
加速電壓:30 kV
低加速電壓下高分辨EDX分析

樣品:Sn球
著陸電壓:1.5 kV
*2
Regulus8240/8230/8220




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