益處
- 設計緊湊，節(jié)省寶貴的工具空間
- 易于集成，EtherCAT，各種滿刻度和法蘭，標配兩個設定點
- 輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
- 診斷端口用于快速維修和維護
- 兩年保修服務，優(yōu)良的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
- 優(yōu)良的信號穩(wěn)定性和可重復性
- 合規(guī)性與標準：CE
典型應用
- 用于 CVD、刻蝕、PVD 和其他半導體制造過程
規(guī)格
類型
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 1 Torr / mbar
精度 (1)
% of reading
0.15
0.15
溫度效應
零點
percent FS/°C
0.0025
0.0025
滿量程
% of reading / °C
0.01
0.01
壓力，更大
kPa (absolute)
400
260
分辨率
percent FS
0.003
0.003
更低讀數
percent FS
0.01
0.01
建議的更低讀數
percent FS
0.05
0.05
建議的更低控制壓力
percent FS
0.5
0.5
溫度
運行（環(huán)境）
°C
+10 … +40
+10 … +40
在法蘭處烘烤
°C
≤110
≤110
貯存
°C
–20 … +65
–20 … +65
電源電壓
+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時
W
≤12
≤12
運行溫度
W
≤8
≤8
輸出信號（模擬）
V (dc)
0 … +10
0 … +10
反應時間 (2)
ms
30
30
保護等級
IP 40
IP 40
標準
CE 合規(guī)
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認證
UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合規(guī)
SEMI S2
SEMI S2
電氣連接
D-sub, 15 pole, male
D-sub, 15 pole, male
設定點
設定點數量
2 (SP1,SP2)
2 (SP1,SP2)
繼電器觸點
≤30
≤30
滯后
percent FS
1
1
診斷端口
協議
RS232-C
RS232-C
讀數
pressure, status, ID
pressure, status, ID
設置
set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
內部容積
內部容積 1/2'' 管
cm3 (in.3)
4.2 (0.26)
4.2 (0.26)
內部容積 DN 16 ISO KF
cm3 (in.3)
4.2 (0.26)
4.2 (0.26)
內部容積 DN 16 CF-R
cm3 (in.3)
4.2 (0.26)
4.2 (0.26)
內部容積 8 VCR®
cm3 (in.3)
4.2 (0.26)
4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管
g
837
837
重量 DN 16 ISO KF
g
852
852
重量 DN 16 CF-R
g
875
875
重量 8 VCR®
g
897
897
EtherCAT
協議 EtherCAT
protocol specialized for EtherCAT
protocol specialized for EtherCAT
通訊標準
ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
數據率
Kbps
100000
100000
節(jié)點地址
Explicit Device Identification
Explicit Device Identification
物理層
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
數字功能讀取
pressure, status, ID
pressure, status, ID
數字功能設置
set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
過程數據
Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE)
SDO requests, responses and information
SDO requests, responses and information
EtherCAT 連接器
RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜
shielded Ethernet CAT5e or higher
shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長度
m (ft.)
≤100 (330)
≤100 (330)
(1) 25 °C 環(huán)境溫度時非線性、滯后、可重復，運行 2 小時后不產生溫度效應。
(2) 增加 10 … 90 % FS
(3) 僅適用于壓力控制類型
(4) 18% 鉻，10% 鎳，3% 鉬，69% 鐵
