可配套:
亞克力手套箱、真空手套箱、惰性氣體手套箱。對(duì)應(yīng)不同大小的箱體,Etelux凈化系統(tǒng)也有多種型號(hào)供配套使用。
產(chǎn)品特點(diǎn):
泄露率<0.001vol%/h
水和氧<0.1ppm
全自動(dòng)再生活化過程
進(jìn)口分子篩和銅觸媒
封閉式氣體循環(huán)
電磁閥模塊化設(shè)計(jì)
自動(dòng)記錄系統(tǒng)數(shù)據(jù)
產(chǎn)品應(yīng)用:
半導(dǎo)體工業(yè)中MOCVD技術(shù)、微電子半導(dǎo)體、OLED/PLED開發(fā)與生產(chǎn)、鋰離子電池開發(fā)與生產(chǎn)、納米材料研究、催化劑研究、鈣鈦礦太陽能電池的研發(fā)。



