半導(dǎo)體材料廢水來源，主要是光刻膠和精細(xì)化學(xué)產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)產(chǎn)品，廢水中主要污染物為鹽分、COD、苯、甲苯、石油類、總氮等污染物，分為高濃度有機(jī)廢水、低濃度有機(jī)廢水、高鹽廢水等。

對于高濃度有機(jī)廢水*行預(yù)處理方能進(jìn)行后續(xù)生化處理，高鹽廢水需進(jìn)行脫鹽處理后方能進(jìn)入后續(xù)生化處理。對于低濃度廢水可與經(jīng)過預(yù)處理后的高濃度廢水和高含鹽廢水混合后進(jìn)行生化處理。經(jīng)過生化處理后的廢水還需進(jìn)行深度處理確保達(dá)標(biāo)后方能排放。因此，半導(dǎo)體材料污水處理站的總體工藝為預(yù)處+UASB+A/O+氧化沉淀。

1、凝結(jié)積淀解決法

廢水中氟的形態(tài)除有*、氟化銨和氟化鈉等以外，還有六氟硅酸等。清除這些化合物中含氟量用得最多的方式是增添Ca（OH）r。以上氟化物與Ca（0H）2反映生成溶解度低的氟化鈣，這就是所謂的積淀分別解決法。

2、離子替換解決法

離子替換解決法重要是為了勤儉用水，使清洗。體系排出的廢水高度污染到達(dá)再應(yīng)用之目標(biāo)。用離子替換解決法時，解決水中含氟濃度可到達(dá)1mg/l以下。此外還能同時去除氟離子以外的陽離子和陰離子。

1、三低一零：半導(dǎo)體材料廢水處理淤泥產(chǎn)出量低、臭氣產(chǎn)出量低、能量需求量低，化學(xué)品須要量最小或?yàn)榱恪?

2、資源應(yīng)用：經(jīng)半導(dǎo)體材料廢水處理解決后的回用水，滿意嚴(yán)厲的工廠回用水品德請求，可供給純水體系或間接回用到消費(fèi)線。

3、性價比高：本半導(dǎo)體材料廢水處理操作便捷，抗沖擊負(fù)荷，占地緊湊，穩(wěn)固性高，運(yùn)轉(zhuǎn)老本低，經(jīng)過少量成功案例驗(yàn)證。