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WXLMG-XY平面氣浮直線電機(jī)檢測平臺(tái)

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公司名稱重慶文信光機(jī)科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/2/23 15:49:30
訪問次數(shù)270

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公司介紹主營產(chǎn)品

我們專業(yè)從事精密隔振光學(xué)平臺(tái)研發(fā)、制造、銷售重慶文信光機(jī)科技有限公司公司生產(chǎn)的精密隔振光學(xué)平臺(tái)在現(xiàn)代光學(xué)、激光技術(shù)、光譜全息、生物技術(shù)、精密檢測、航空航天等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，臺(tái)面均采用高導(dǎo)磁不銹鋼及優(yōu)質(zhì)中碳鋼相結(jié)合鋼質(zhì)蜂窩式的臺(tái)體，著重體現(xiàn)其高強(qiáng)度、低重量及優(yōu)異的模態(tài)感應(yīng)和隔振性能，用于支撐的各不同系列型號(hào)的隔振支撐均能給平臺(tái)臺(tái)體提供優(yōu)異的減振性能，以滿足用戶進(jìn)行不同要求的高精度光學(xué)實(shí)驗(yàn)。公司現(xiàn)在生產(chǎn)的光學(xué)平臺(tái)平面精度高、隔振性能強(qiáng)、也是全部執(zhí)行德國FESTO元器件的平臺(tái)生產(chǎn)廠家，保證光學(xué)平臺(tái)的靈敏度和精度，已成為國內(nèi)專業(yè)的光學(xué)平臺(tái)研發(fā)中心及生產(chǎn)基地。公司長期依托與廈門大學(xué)、長春光機(jī)所、清華大學(xué)、香港科技大學(xué)、浙江大學(xué)，物理研究所，香港理工大學(xué)等國內(nèi)外科研院所有著緊密而廣泛的合作；同時(shí)公司擁有一批經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過硬、態(tài)度嚴(yán)謹(jǐn)?shù)母咚刭|(zhì)專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)和生產(chǎn)人員。重慶文信光機(jī)科技技術(shù)、質(zhì)量、服務(wù)優(yōu)良、用戶滿意的工作理念，不斷制造推出國內(nèi)的精密隔振光學(xué)平臺(tái)。我們單位制造的核心：電動(dòng)位移臺(tái)系列，光學(xué)平臺(tái)系列，直線電機(jī)位移臺(tái)系列。初心為中國光學(xué)平臺(tái)產(chǎn)品的發(fā)展貢獻(xiàn)自己的一份力量使命使命與光學(xué)平臺(tái)行業(yè)一起發(fā)展，共同繁榮核心價(jià)值觀核心價(jià)值觀感恩、忠義、果敢、創(chuàng)新、共贏經(jīng)營理念經(jīng)營理念商道酬信，感因有您

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

采用XY軸共面設(shè)計(jì)的WXLMG-XY系列氣浮平臺(tái)擁有比一般XY平臺(tái)更加優(yōu)秀的平面度及形位公差，無鐵芯直線電機(jī)保證了運(yùn)動(dòng)軸的運(yùn)動(dòng)精度、高動(dòng)態(tài)響應(yīng)以及運(yùn)動(dòng)效果均勻性，花崗巖底座更是為的平面度提供了保證，是晶圓檢測以及高精度面型微加工的。

WXLMG-XY平面氣浮直線電機(jī)檢測平臺(tái) 產(chǎn)品信息

主要性能參數(shù)：

型號(hào)	WXLMG-100×100	WXLMG-150×150	WXLMG-200×200	WXLMG-250×250	WXLMG-300×300	WXLMG-400×400	WXLMG-500×500
行程X軸Y軸（mm)	100	150	200	250	300	400	500
導(dǎo)軌類型	平面共軌氣浮導(dǎo)軌
X電機(jī)規(guī)格	三相無鐵芯電機(jī)持續(xù)60N峰值210N
Y軸	60N/210N	60N/210N	60N/210N	120N/420N(雙驅(qū))	120N/420N(雙驅(qū))	120N/420N(雙驅(qū))	120N/420N(雙驅(qū))
*光柵分辨率	默認(rèn)模擬量5nm（4096細(xì)分）1nm，可升級(jí)為數(shù)字量
X軸（上軸）空載加速度	4G
Y軸（下軸）空載加速度	2G	1.7G	1.5G	2G	2G	1.6G	1.4G
*****空載速度	2m/s
**速度均勻性	≤1%
負(fù)載（kg)	15kg
***雙向重復(fù)定位精度	±0.1um
****XY軸定位精度(補(bǔ)償前)	±1	±1.5	±2	±2	±2.5	±3	±4
****XY軸定位精度(補(bǔ)償后)	±0.5
直線度	0.5	0.5	1	1	1.5	2	2.5
平面度	0.5	0.8	1	1	1.5	2	2.5
氣源工作壓力	0.3-0.48MPa

*默認(rèn)產(chǎn)品分辨率為5nm，為模擬量光柵4096細(xì)分后所得，分辨率的改變會(huì)導(dǎo)致平臺(tái)速度以及重復(fù)定位精度的變化，分辨率1nm，可選數(shù)字量光柵，詳細(xì)情況請進(jìn)一步咨詢廠家
**速度均勻性又稱速度誤差，與速度所處區(qū)間關(guān)系較大，速度越慢速度誤差比例越大，低于1mm/s的應(yīng)用，推薦采用線性驅(qū)動(dòng)器
***此數(shù)據(jù)為實(shí)驗(yàn)室實(shí)測數(shù)據(jù)上限，如有更高要求，需搭配重慶文信光機(jī)生產(chǎn)的系列控制器，詳詢廠家
****此數(shù)據(jù)為標(biāo)定后參數(shù)
*****平臺(tái)速度取決于有效行程、光柵分辨率以及光柵和驅(qū)動(dòng)器的時(shí)鐘頻率，不同配置會(huì)導(dǎo)致此項(xiàng)參數(shù)上限值的變化，所有直線電機(jī)產(chǎn)品默認(rèn)采用直線開放式光柵詳詢廠家

外形尺寸圖

尺寸/型號(hào)（mm）	100x100	150x150	200x200	250x250	300x300	400x400	500x500
W	310	360	410	460	510	610	710
L	380	430	480	530	580	680	780

*實(shí)際尺寸會(huì)根據(jù)客戶所需的行程來確定
**如需要進(jìn)一步的尺寸信息或者3D圖檔，請直接聯(lián)系廠家
特別注意事項(xiàng)：
1、直線電機(jī)平臺(tái)屬于高精度精密設(shè)備，因此如果希望得到性能，需要保證足夠的使用環(huán)境，尤其在使用要求重復(fù)定位精度小于1um的設(shè)備上，所有指標(biāo)的復(fù)現(xiàn)都需要滿足一定的溫度、濕度、氣壓、振動(dòng)等，詳細(xì)要求可進(jìn)一步聯(lián)系廠家咨詢溝通
2、所有平臺(tái)可單獨(dú)訂購，如對設(shè)備的精度以及性能要求較高，推薦使用文信光機(jī)自主生產(chǎn)的控制器搭配控制器出貨的產(chǎn)品，在出廠檢驗(yàn)中都會(huì)做針對性的優(yōu)化和校準(zhǔn)，是您高要求使用的。
3、氣浮平臺(tái)需搭配空壓機(jī)、儲(chǔ)氣罐、冷干機(jī)、油水分離器、過濾器、干燥器、調(diào)壓閥等輔助配件，詳細(xì)規(guī)格請咨詢廠家