JKNL-B220滑軌式真空管式爐
設(shè)備介紹：
JKNL-B220滑軌式真空管式爐是專為化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯片而設(shè)計(jì)的，該爐搭配質(zhì)量混氣系統(tǒng)、高（低）真空系統(tǒng)組成CVD系統(tǒng)，可以通過滑動爐體來實(shí)現(xiàn)快速升降溫，配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到所需的真空度，同時通過四路高精度質(zhì)量混氣系統(tǒng)控制不同氣體。
爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，殼體間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，能有效的降低爐殼表面溫度。爐底以直線軌道為平臺，通過軌道實(shí)現(xiàn)爐體自由滑動；反應(yīng)區(qū)采用石英管結(jié)構(gòu)，石英管直徑60mm,石英管通過CVD專用法蘭密封，內(nèi)置基片做為基底，前驅(qū)反應(yīng)氣體通過石英管內(nèi)發(fā)生CVD反應(yīng)，生成石墨烯。
設(shè)備用途：
JKNL-B220滑軌式真空管式爐是生長石墨烯研制的專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)。
JKNL-B220滑軌式真空管式爐
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| 基本參數(shù) | 產(chǎn)品型號 | JKNL-B220 | 加熱區(qū)尺寸 | 400mm | |||||
| 極限溫度 | 1200℃ | 工作溫度 | ≤1100℃ | ||||||
| 表面溫度 | <>60℃ | 控溫精度 | ±1℃ | ||||||
| 功率 | 3KW | 工作電壓 | 單相220V | ||||||
| 開門方式 | 上開式 | ||||||||
| 外形尺寸 | 深 * 寬 * 高 （mm） 600 * 1300 * 1300 | ||||||||
| 設(shè)備重量 | 150Kg | ||||||||
| 殼體結(jié)構(gòu) | 雙層，殼體間風(fēng)扇制冷，可使?fàn)t體表面快速降溫。 | ||||||||
| 節(jié)能效果 | ★ 保溫時僅需40%功率 | ||||||||
| 數(shù)據(jù)顯示模式 | LED數(shù)顯儀表 | ★ 可選配豪華型智能觸摸屏儀表，實(shí)時曲線顯示，也可用U盤導(dǎo)出數(shù)據(jù)，在電腦上安裝查看軟件 |
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| 控制模式 | 智能PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定功能 | ||||||||
| 溫度曲線 | 30段可編程控制，可設(shè)置30段升降溫程序 | ||||||||
| 測溫元件 | K型熱電偶 | ||||||||
| 加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲 環(huán)形加熱，溫場均勻，能耗低 升溫速率建議:10℃/Min Max:20℃/Min | | |||||||
| 爐膛保溫材料 | 1500型高純氧化鋁微晶體纖維，保溫性能好 | ||||||||
| 售后服務(wù) | 12個月質(zhì)保（相關(guān)易耗件除外），終身保修 | ||||||||
| 包裝方式 | 三合板木質(zhì)包裝箱 | ||||||||
| 電 源 線 | 標(biāo)配2米 若需更長，請購買設(shè)備時提前說明，需另購 | | |||||||
| 坩 堝 | 我司有各種規(guī)格的坩堝，需要可咨詢業(yè)務(wù)人員 | ||||||||
| 爐體尺寸 | 620mm（長）*420mm（寬）*520mm（高） | ||||||||
| 設(shè)備重量 | 180Kg | ||||||||
| 控制方式擴(kuò)展 | ★ 可選配485轉(zhuǎn)換接口，實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)相互連接。選配專用的電腦控制系統(tǒng)來完成與單臺或多達(dá)200臺電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能。為客戶提供方便，本公司也可以代購電腦。 | | |||||||
| 真空度 | A.若使用VP系列單級旋片機(jī)械泵+CF法蘭+針型閥，則真空度可達(dá)100Pa B.若使用2XZ系列雙級旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵+KF法蘭+真空球閥，則真空度可達(dá)10Pa | ||||||||
| 隨機(jī)配件 | 防護(hù)手套1雙；坩堝鉗1把；剛玉舟1只；石英管；爐塞；爐勾；6號內(nèi)六角（法蘭專用）；法蘭一套；配套氣管；高溫密封圈8個；產(chǎn)品說明書1份；儀表說明書1份；保修證書1份。 | ||||||||
質(zhì)量流量控制器
工作電壓：220V
輸出功率：18W
質(zhì)量流量計(jì)量程：
控制器1：0-100 SCCM
控制器2：1-199 SCCM
控制器3：1-199 SCCM
控制器4：1-499 SCCM
可任意選擇量程（5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM）
工作溫度：5-45 oC
壓力：3* 10^6 Pa
準(zhǔn)確度：±1%FS
機(jī)械壓力表測量范圍：-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
針型閥：304不銹鋼
混氣罐：Φ80*120MM
截止閥：Φ1/4 304不銹鋼
