激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標準測量各項參數(shù)，如線形位置精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機床動態(tài)特性測量與評估，回轉(zhuǎn)坐標分度精度標定，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。
中圖儀器SJ6000激光干涉儀采用高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，實現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗*力強、*穩(wěn)定性好的激光輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，結(jié)合線性鏡組能實現(xiàn)0.5ppm精度的線性測量；結(jié)合相應(yīng)鏡組還能實現(xiàn)角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的測量，并進行動態(tài)分析。
中圖儀器SJ6000激光干涉儀性能特點：
1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
①使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達到4m/s。
④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析
③可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進行動態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。
②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
③向?qū)讲僮鳎鞒糖逦?，更符合國?nèi)用戶的使用習慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準，價格是國內(nèi)儀器的良心價。
中圖儀器SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：
系統(tǒng)性能
2 測量方式：單頻
2 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
2 動態(tài)采集頻率：50 kHz
2 預(yù)熱時間：約6分鐘
2 工作溫度范圍：(0~40)℃
2 環(huán)境溫度范圍：(0~40)℃，環(huán)境濕度：(0~95)%RH
2 存儲溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境補償示值誤差
2 空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
2 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
2 空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95) %RH
2 大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測量
2 測量距離：(0~40)m
2 測量精度：0.5ppm (0~40)℃
2 測量分辨力：1nm
2 測量zui大速度：4m/s
角度測量
2 軸向量程：(0~15)m
2 測量范圍：±10°
2 測量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)
2 測量分辨力：0.1″
平面度測量
2 軸向量程：(0~15)m
2 測量范圍：±1.5 mm
2 測量精度：±(0.6%R+0.02 M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)
2 基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)
測量分辨力：0.1μm
直線度測量
2 軸向量程：(0.1~4.0)m
2 測量范圍：±3mm
2 測量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)
2 測量分辨力：0.01μm
垂直度測量
2 軸向量程：(0.1~3.0)m
測量范圍：±3mm
2 測量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)
2 測量分辨力：0.01μm/m
回轉(zhuǎn)軸精度測量
2 角度測量范圍：(0~360)°
2 測量精度：±1″
zui高轉(zhuǎn)速：10rpm
鋰電池供電，藍牙傳輸數(shù)據(jù)。
中圖儀器SJ6000激光干涉儀使用注意事項：
• (1)避免現(xiàn)場與儀器箱內(nèi)溫差較大時，直接開箱使用；
• (2)運輸、使用中避免劇烈碰撞；
• (3)儀器線纜要防止碾、壓，線纜接口防止變形；
• (4)多塵的環(huán)境中，要注意光學鏡組放塵，測量間隙較長時，注意將激光閘關(guān)閉，防止灰塵進入激光器；
• (5)清洗光學鏡組要使用高質(zhì)量的擦拭紙、清洗液。
